浙江创芯集成电路有限公司王典勇获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆夹紧装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223363129U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422704046.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆夹紧装置及半导体设备是由王典勇设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆夹紧装置及半导体设备在说明书摘要公布了：一种晶圆夹紧装置及半导体设备，在晶圆夹紧装置工作时，在垂直于晶圆表面的方向上，吸盘为晶圆提供吸力，用于承载晶圆；在平行于晶圆表面的方向上，驱动机构对夹紧元件施加力，夹紧元件在晶圆的径向方向上移动，使得夹紧元件的竖向表面与晶圆侧壁抵接。因此，晶圆夹紧装置同时在垂直于晶圆表面的方向以及平行于晶圆表面的方向上对晶圆施加力，使得晶圆夹紧装置能够紧固晶圆，从而在对晶圆进行工艺处理的过程中，晶圆容易始终处于平稳的姿态，即使在高速转动下，晶圆也不易与其他部件碰撞，有利于提高晶圆工艺处理的质量。
本实用新型晶圆夹紧装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹紧装置，其特征在于，包括 吸盘，用于承载晶圆； 夹紧元件，包括竖向表面，所述竖向表面用于与所述晶圆侧壁抵接； 驱动机构，设置在所述吸盘的边缘，用于对所述夹紧元件施加力，使所述夹紧元件在所述晶圆的径向方向上移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励