深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司陈永烜获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利清洗装置及抛光机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223353952U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422692891.3，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型清洗装置及抛光机台是由陈永烜;严振威设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗装置及抛光机台在说明书摘要公布了：本公开实施例公开了一种清洗装置及抛光机台，所述清洗装置包括：承载盘；托架，位于所述承载盘上；所述托架用于承载晶圆；所述托架包括环形外框，以及多个支撑筋；所述支撑筋的一端与所述环形外框固定连接，多个所述支撑筋在所述环形外框内侧沿所述环形外框的周向方向间隔分布；所述支撑筋远离所述承载盘的一侧具有朝向所述晶圆的脊，所述脊设有两个侧壁，两个所述侧壁在远离所述承载盘的一端相交形成用于支撑或朝向所述晶圆的支撑部；喷头，设于所述承载盘上，所述喷头被配置为向所述晶圆喷射清洗液。
本实用新型清洗装置及抛光机台在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，其特征在于，包括： 承载盘； 托架，位于所述承载盘上；所述托架用于承载晶圆；所述托架包括环形外框，以及多个支撑筋；所述支撑筋的一端与所述环形外框固定连接，多个所述支撑筋在所述环形外框内侧沿所述环形外框的周向方向间隔分布； 所述支撑筋远离所述承载盘的一侧具有朝向所述晶圆的脊，所述脊设有两个侧壁，两个所述侧壁在远离所述承载盘的一端相交形成用于支撑或朝向所述晶圆的支撑部； 喷头，设于所述承载盘上，所述喷头被配置为向所述晶圆喷射清洗液。
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