芯微特半导体科技(江苏)有限公司王博正获国家专利权
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龙图腾网获悉芯微特半导体科技(江苏)有限公司申请的专利一种半导体湿法槽式设备手臂夹取晶圆装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223354285U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422675749.8，技术领域涉及：B25J15/02；该实用新型一种半导体湿法槽式设备手臂夹取晶圆装置是由王博正;徐善仁;胡照君设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体湿法槽式设备手臂夹取晶圆装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体湿法槽式设备手臂夹取晶圆装置，包括吊架，所述吊架的底端活动安装有两个固定夹，所述固定夹与吊架之间设置有夹紧机构；两个所述固定夹的外侧均活动安装有活动夹。本实用新型通过固定夹、活动夹和连接件之间配合使用，夹紧晶圆时，启动电机，电机驱动双向丝杆旋转，双向丝杆旋转时带动两个活动件同向移动，两个活动件同向移动时控制下方的两个固定夹从晶圆的两侧夹紧固定，并且由于固定夹和活动夹活动连接，当固定夹移动时，活动夹顶端的连杆顺势翻转，并控制活动夹沿着固定夹的外部伸出，当固定夹夹紧晶圆时，活动夹的下端伸出后增加包角，这样即可提高夹持稳定性。
本实用新型一种半导体湿法槽式设备手臂夹取晶圆装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体湿法槽式设备手臂夹取晶圆装置，其特征在于：包括 吊架1，所述吊架1的底端活动安装有两个固定夹2，所述固定夹2与吊架1之间设置有夹紧机构； 两个所述固定夹2的外侧均活动安装有活动夹3，所述吊架1的中部正面设置有支架4，所述支架4与活动夹3之间设置有调节机构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯微特半导体科技(江苏)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区葑亭大道502号泓创科技园3号楼4楼419室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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