深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司朱翔宇获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利气氛隔离装置及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223359339U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422682600.2,技术领域涉及:F04B37/10;该实用新型气氛隔离装置及镀膜设备是由朱翔宇;夏世延;葛光星;张凡设计研发完成,并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本气氛隔离装置及镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种气氛隔离装置及镀膜设备,设置于相邻的镀膜室之间并进行气氛隔离,气氛隔离装置包括第一抽气室、第二抽气室、隔离室、第一抽气机构、第二抽气机构与充气机构,充气机构向隔离室内充气,第一抽气室具有相对设置的第一进气口与第二进气口,第二抽气室具有相对设置的第三进气口与第四进气口。第一进气口与第二进气口之间以及第三进气口与第四进气口之间形成对流,能够阻挡镀膜室内的气体通过,实现气氛隔离,载板携载基片经过第一抽气腔或第二抽气腔时,第二进气口或第三进气口处的气流吹动载板周围的气流,阻挡镀膜室内的气体继续流动,提升了镀膜室之间的气氛隔离效果及镀膜质量。
本实用新型气氛隔离装置及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.气氛隔离装置,设置于相邻的镀膜室之间并进行气氛隔离,其特征在于,包括: 第一抽气室,内部设有第一抽气腔,还具有相对设置且与所述第一抽气腔连通的第一进气口与第二进气口,所述第一进气口用于与其中一个所述镀膜室连通; 第二抽气室,内部设有第二抽气腔,还具有相对设置且与所述第二抽气腔连通的第三进气口与第四进气口,所述第四进气口用于与另一个所述镀膜室连通; 隔离室,位于所述第一抽气室与所述第二抽气室之间,所述隔离室的内部设有隔离腔,所述第一抽气腔通过所述第二进气口与所述隔离腔连通,所述第二抽气腔通过所述第三进气口与所述隔离腔连通; 第一抽气机构,连接于所述第一抽气室,并用于抽取所述第一抽气腔内的气体; 第二抽气机构,连接于所述第二抽气室,并用于抽取所述第二抽气腔内的气体; 充气机构,连接于所述隔离室,并用于向所述隔离室内充气。
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