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龙图腾网获悉东莞市华石晶电技术有限公司申请的专利具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223354194U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422673998.3，技术领域涉及：B25H1/02；该实用新型具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台是由罗建华;罗炜桓;刘佳华;陈林才设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台在说明书摘要公布了：一种具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台，它涉及半导体检测技术领域，包括X轴驱动机构、Y轴驱动机构、Z轴驱动机构和检测光学头，X轴驱动机构包括X轴基座、X轴直线电机、X轴直线导轨以及X轴缓冲减震件：Y轴驱动机构包括Y轴基座、Y轴直线电机、Y轴直线导轨以及Y轴缓冲减震件；Z轴驱动机构，包括Z轴基座、Z轴升降座以及Z轴驱动组件；检测光学头用于对料片上的芯片进行检测。采用上述技术方案，通过X轴缓冲减震件和Y轴减震件分别吸收X轴直线电机定子和Y轴直线电机动子受到的反作用力，从而避免了对X轴基座和Y轴基座的冲击，实现运动平台高速、高响应、高精度的运动，保证了检测光学头的稳定性和拍摄精度。

本实用新型具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台在权利要求书中公布了：1.一种具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台，其特征在于，包括： X轴驱动机构100，包括X轴基座101、X轴直线电机、X轴直线导轨104以及X轴缓冲减震件，所述X轴直线电机包括X轴直线电机定子102和X轴直线电机动子103，所述X轴直线电机定子102滑动设于X轴基座101上，所述X轴直线电机定子102与X轴缓冲减震件连接，当所述X轴直线电机动子103通电后在电磁力的作用下沿X轴方向运动时，所述X轴直线电机定子102在与电磁力相反方向的反作用力的带动下朝与X轴直线电机动子103运动方向相反的方向滑动并将该反作用力传递至X轴缓冲减震件； Y轴驱动机构200，包括Y轴基座201、Y轴直线电机、Y轴直线导轨204以及Y轴缓冲减震件，所述Y轴基座201滑动连接于X轴直线导轨104，且所述Y轴基座201固定设于X轴直线电机动子103上，所述Y轴直线电机包括Y轴直线电机动子203和Y轴直线电机定子202，所述Y轴直线电机定子202和Y轴直线电机动子203均滑动设于Y轴基座201上，所述Y轴直线电机动子203与Y轴缓冲减震件连接，当所述Y轴直线电机动子203通电后在电磁力的作用下迫使Y轴直线电机定子202沿Y轴方向移动，所述Y轴直线电机动子203在与电磁力相反方向的反作用力的带动下朝与Y轴直线电机定子202运动方向相反的方向滑动并将该反作用力传递至Y轴缓冲减震件； Z轴驱动机构300，包括Z轴基座301、Z轴升降座302以及Z轴驱动组件，所述Z轴基座301滑动连接于Y轴直线导轨204，且所述Z轴基座301固定设于Y轴直线电机定子202上，所述Z轴驱动组件用于驱动Z轴升降座302沿Z轴方向上下移动；以及 检测光学头400，设于所述Z轴升降座302上，其用于对料片上的芯片进行检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市华石晶电技术有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市松山湖园区科技十路1号8栋101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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