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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学;哈工大郑州研究院申请的专利一种基于称重法测量金刚石外延层生长厚度精度的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119400719B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411510708.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种基于称重法测量金刚石外延层生长厚度精度的方法是由刘本建;梁伟;梁博;李传龙;贾和;张森;刘康;代兵;朱嘉琦设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于称重法测量金刚石外延层生长厚度精度的方法在说明书摘要公布了：一种基于称重法测量金刚石外延层生长厚度精度的方法，本发明的目的是为了解决现有金刚石薄层漂移层的测量方法难以准确评估金刚石外延薄层厚度及生长速率的问题。测量方法：一、对金刚石衬底进行抛光；二、将抛光后的金刚石衬底置于强氧化混酸中形成氧终端，再进行超声清洗；三、使用高精度天平测量金刚石衬底的重量，使用游标卡尺测量金刚石衬底的表面积；四、再次表面清洗；五、在金刚石衬底表面外延生长单晶金刚石层；六、三次表面清洗；七、计算获得外延生长的单晶金刚石层的厚度。本发明采用高精度天平对金刚石外延生长层的厚度进行表征测量，能够实现超薄层金刚石的测量和控制，高精度天平能够无损伤、简单地实现超薄层金刚石的测量。

本发明授权一种基于称重法测量金刚石外延层生长厚度精度的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于称重法测量金刚石外延层生长厚度精度的方法，其特征在于该测量金刚石外延层生长厚度精度的方法按照以下步骤实现： 步骤一、表面平整化： 对金刚石衬底表面进行抛光处理，得到抛光后的金刚石衬底； 步骤二、表面清洗： 将抛光后的金刚石衬底置于强氧化混酸中，在200～250℃下加热0.4～0.6h，再升温至330～370℃继续加热1.4～1.8h，在金刚石衬底表面形成氧终端，然后置于等离子水中在70～85℃下加热处理，以除去金刚石表面残留的混酸，经超声清洗后，得到带有氧终端的金刚石衬底； 步骤三、样品测量： 先使用高精度天平测量带有氧终端的金刚石衬底的重量，然后使用游标卡尺测量带有氧终端的金刚石衬底的长度和宽度，从而得到金刚石衬底的表面积S； 步骤四、再次表面清洗： 依次使用等离子水、无水乙醇、丙酮对带有氧终端的金刚石衬底进行再次超声清洗，得到二次清洗后的金刚石衬底； 步骤五、外延生长： 将二次清洗后的金刚石衬底放置于钼托上，一同放在微波等离子化学气相沉积装置的样品台上，通入氢气和甲烷的混合气体，在氢气流量为100sccm～500sccm、甲烷流量为1sccm～20sccm、金刚石衬底温度为700℃～1100℃、压强为50mbar～300mbar及微波功率为1000W～4000W的条件下进行沉积，在金刚石衬底表面外延生长单晶金刚石层，得到生长后的金刚石衬底； 步骤六、三次表面清洗： 将生长后的金刚石衬底置于强氧化混酸中，在200～250℃下加热0.4～0.6h，再升温至330～370℃继续加热1.4～1.8h，在金刚石衬底表面形成氧终端，然后置于等离子水中在70～85℃下加热处理，以除去金刚石表面残留的混酸，经超声清洗后，得到三次清洗后的金刚石衬底； 步骤七、样品测量： 使用高精度天平测量三次清洗后的金刚石衬底的重量，三次清洗后的金刚石衬底与带有氧终端的金刚石衬底的重量差为Δm，金刚石的标准平均密度为ρava，通过下式计算， 从而获得外延生长的单晶金刚石层的厚度Δh。

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