芯恩(青岛)集成电路有限公司李政凯获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利过滤器检测装置及晶圆传送盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223351288U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422613682.5,技术领域涉及:B01D46/56;该实用新型过滤器检测装置及晶圆传送盒是由李政凯设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本过滤器检测装置及晶圆传送盒在说明书摘要公布了:本申请提供了一种过滤器检测装置及晶圆传送盒,涉及半导体制造技术领域,包括基台、移动机构和检测机构;移动机构安装在基台上,用于带动检测机构做直线往复运动;检测机构包括压力缓冲组件、接触组件和压力检测组件;接触组件通过压力缓冲组件与移动机构连接,接触组件与压力缓冲组件连通,用于覆盖在过滤器周围,使过滤器与压力缓冲组件形成密闭环境;压力缓冲组件安装在移动机构上,向接触组件通入气体,用于缓冲气压;压力检测组件设置在压力缓冲组件上,用于检测压力缓冲组件内的压力值。能够通过压力值来判断过滤器是否破损或漏气,减少因过滤器损坏导致的设备故障,从而降低维护成本和停机时间,并且可以预防潜在的安全隐患,确保工作环境的安全。
本实用新型过滤器检测装置及晶圆传送盒在权利要求书中公布了:1.一种过滤器检测装置,其特征在于,包括基台、移动机构和检测机构; 所述移动机构安装在所述基台上,用于带动所述检测机构做直线往复运动; 所述检测机构包括压力缓冲组件、接触组件和压力检测组件; 所述接触组件通过所述压力缓冲组件与所述移动机构连接,并且所述接触组件与所述压力缓冲组件连通,用于覆盖在过滤器周围,使所述过滤器与所述压力缓冲组件形成密闭环境; 所述压力缓冲组件安装在所述移动机构上,并向接触组件通入气体,用于缓冲气压; 所述压力检测组件设置在所述压力缓冲组件上,用于检测所述压力缓冲组件内的压力值。
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