芯恩(青岛)集成电路有限公司尚慧明获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利气体混合装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223351431U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422613735.3，技术领域涉及：B01F25/452；该实用新型气体混合装置是由尚慧明;汪勋;付陆彬设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体混合装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种气体混合装置，涉及半导体制造技术领域，包括进气管、外腔室、内腔室；所述内腔室设置在所述外腔室内，并与所述外腔室连通，所述内腔室和所述外腔室均用于气体混合；所述进气管穿过所述外腔室并与所述内腔室连接，用于向所述内腔室通入所述气体；所述进气管与所述内腔室的连接处设置有导向板，所述导向板上均匀开设有多个导向通孔，且沿朝向内腔室的方向，所述导向通孔的截面呈逐渐增大设置。能够使气体得到充分地混合，提高后续刻蚀晶圆的均一性。
本实用新型气体混合装置在权利要求书中公布了：1.一种气体混合装置，其特征在于，包括进气管、外腔室、内腔室； 所述内腔室设置在所述外腔室内，并与所述外腔室连通，所述内腔室和所述外腔室均用于气体混合； 所述进气管穿过所述外腔室并与所述内腔室连接，用于向所述内腔室通入所述气体； 所述进气管与所述内腔室的连接处设置有导向板，所述导向板上均匀开设有多个导向通孔，且沿朝向内腔室的方向，所述导向通孔的截面呈逐渐增大设置。
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