重庆市晶帆光电科技有限公司石高瀑获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆市晶帆光电科技有限公司申请的专利一种晶圆超声波清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223352415U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422600222.9，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种晶圆超声波清洗装置是由石高瀑;彭佳伟;彭滔;贺茂兴设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆超声波清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆超声波清洗装置，包括清洗箱体和晶圆载架，清洗箱体的内壁固定安装有超声波发生器，晶圆载架设于清洗箱体内，晶圆载架内壁表面等距间隔设有若干组载料插槽；载料插槽包括导向段和限位段，导向段竖直分设于所述晶圆载架内壁两侧，限位段设于晶圆载架内壁下端，限位段设有多组，多组限位段沿周向间隔分设于晶圆内壁下端；限位段中设有凸块，凸块与晶圆外侧适配，且凸块的高度小于限位段的高度；晶圆载架上端固定连接有L形架，清洗箱体底端设有传动组件；L形架一端与晶圆载架上端连接，另一端与传动组件连接。通过采用这种结构，实现了晶圆上污物的快速脱离和清除，缩短了晶圆的清洗作业时间，提高了晶圆的清洗效率。
本实用新型一种晶圆超声波清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆超声波清洗装置，包括清洗箱体和晶圆载架，其特征在于：所述清洗箱体的内壁固定安装有超声波发生器，所述晶圆载架设于清洗箱体内，所述晶圆载架内壁表面等距间隔设有若干组载料插槽； 所述载料插槽包括导向段和限位段，所述导向段竖直分设于所述晶圆载架内壁两侧，所述限位段设于晶圆载架内壁下端，限位段设有多组，多组所述限位段沿周向间隔分设于所述晶圆内壁下端；所述限位段中设有凸块，所述凸块与晶圆外侧适配，且所述凸块的高度小于所述限位段的高度； 所述晶圆载架上端固定连接有L形架，所述清洗箱体底端设有传动组件；所述L形架一端与晶圆载架上端连接，另一端与传动组件连接，所述传动组件用以驱动所述L形架沿竖直方向进行往复运动。
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