芯恩(青岛)集成电路有限公司于冠群获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利管路过滤装置、半导体设备管路及半导体加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223351880U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422568958.2,技术领域涉及:B03C1/02;该实用新型管路过滤装置、半导体设备管路及半导体加工设备是由于冠群;李绪瑞设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本管路过滤装置、半导体设备管路及半导体加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种管路过滤装置、半导体设备管路及半导体加工设备,属于半导体制造技术领域,管路过滤装置包括连接管和固定于连接管上的磁体部,磁体部包括线圈和极板,线圈用于在通电时使得极板产生磁性,极板包括第一极板和第二极板,其中线圈通电时,第一极板和第二极板上的磁性相反,该管路过滤装置的连接管与管路连接时,管路中的介质自连接管的空腔中流过,线圈在通电时第一极板和第二极板上产生磁性且磁性相反,当带电或铁磁性微粒进入第一极板和第二极板之间磁场时,会受到洛伦兹力或磁力的作用,其运动轨迹会发生变化,进而吸附于连接管的内壁,从而减少或者去除管路介质中的带电或铁磁性微粒。
本实用新型管路过滤装置、半导体设备管路及半导体加工设备在权利要求书中公布了:1.一种管路过滤装置,用于安装于管路中,其特征在于,包括: 连接管和固定于所述连接管上的磁体部; 所述连接管的两端用于与所述管路连接,所述连接管具有用于使得所述管路中的介质通过的空腔,所述磁体部包括线圈和极板,所述线圈用于在通电时使得所述极板产生磁性,所述极板包括第一极板和第二极板,所述第一极板和第二极板在所述连接管的外侧相对设置,其中所述线圈通电时,所述第一极板和第二极板上的磁性相反。
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