上海量子科学研究中心张富荣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海量子科学研究中心申请的专利一种清理薄膜沉积设备腔室的多功能吸尘器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223352437U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422541145.4，技术领域涉及：B08B5/04；该实用新型一种清理薄膜沉积设备腔室的多功能吸尘器是由张富荣;宿非凡;邓辉;严凯;张海斌;秦文斌;宗华;燕军祥设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清理薄膜沉积设备腔室的多功能吸尘器在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种清理薄膜沉积设备腔室的多功能吸尘器，涉及吸尘器领域，包括吸尘器本体，所述吸尘器本体的内部固定安装有水过滤管，所述水过滤管位于吸尘器本体内部一端的上方安装有水过滤装置，所述吸尘器本体的内部装有洁净水，所述吸尘器本体的内顶壁安装有干湿电机。该装置通过吸尘器本体、水过滤管、水过滤装置、洁净水、高分子海绵过滤装置、干湿电机、出风口、排污阀、磁吸机构和超声波吸尘机构的配合，采用磁吸机构和超声波吸尘机构可以有针对性的对腔室黏附薄膜颗粒进行清洁，采用水循环过滤装置进行除尘过滤，不仅装置制作简单，成本低廉，且可精细过滤，多层过滤，避免二次污染。
本实用新型一种清理薄膜沉积设备腔室的多功能吸尘器在权利要求书中公布了：1.一种清理薄膜沉积设备腔室的多功能吸尘器，包括吸尘器本体1，其特征在于：所述吸尘器本体1的内部固定安装有水过滤管2，所述水过滤管2位于吸尘器本体1内部一端的上方安装有水过滤装置3，所述吸尘器本体1的内部装有洁净水4，所述吸尘器本体1的内顶壁安装有干湿电机6，所述干湿电机6的外部固定设置有高分子海绵过滤装置5，所述吸尘器本体1的上端安装有两个出风口7，所述水过滤管2位于吸尘器本体1外部的一端可拆卸的安装有连接管道11，所述连接管道11远离吸尘器本体1的一端设置有磁吸机构和超声波吸尘机构，所述连接管道11远离吸尘器本体1的一端安装有照明机构，所述吸尘器本体1的上方安装有电源开关10。
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