江苏亨芯石英科技有限公司;江苏亨通光电股份有限公司李建均获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亨芯石英科技有限公司;江苏亨通光电股份有限公司申请的专利一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223357532U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422473487.7，技术领域涉及：C03B20/00；该实用新型一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统是由李建均;肖华;李旭伟;王俊;刘利;钟媛;刘宝设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，包括烧结炉、槽沉炉、称重机构、驱动机构和槽沉模具，称重机构连接驱动机构，驱动机构连接石英棒，烧结炉的底端与槽沉炉的顶端连接且二者的内部腔体连通，槽沉模具设置于槽沉炉内。本实用新型将烧结炉与槽沉炉一体化设置，石英棒在烧结后直接进行槽沉整形，有效缩短生产时长，降低生产成本；通过驱动机构吊挂驱动石英棒下降，经烧结区致密化后进入槽沉炉，由底部开始逐渐熔融摊开在槽沉模具内，避免因石英棒长径比过大导致折叠、倾倒，进而造成产品中出现条纹、气泡、均匀性差以及应力大的问题；实现了大尺寸、低缺陷、高性能、高纯度产品的生产，可应用于IC光掩膜基板的开发。
本实用新型一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统在权利要求书中公布了：1.一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，包括烧结炉、槽沉炉、称重机构、驱动机构以及槽沉模具； 所述称重机构连接驱动机构，所述驱动机构连接石英棒，所述称重机构、驱动机构和石英棒从上到下顺序竖直设置且位于所述烧结炉的正上方； 所述烧结炉的底端与槽沉炉的顶端连接，且二者的内部腔体连通设置； 所述槽沉模具设置于槽沉炉内，且所述槽沉模具位于所述石英棒的正下方。
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