江苏亨芯石英科技有限公司;江苏亨通光电股份有限公司吴龙波获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亨芯石英科技有限公司;江苏亨通光电股份有限公司申请的专利一种大尺寸方形掩膜板坯的沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223357741U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422473485.8，技术领域涉及：C23C16/04；该实用新型一种大尺寸方形掩膜板坯的沉积装置是由吴龙波;肖华;刘利;钟媛;李建均;刘宝;郇朝阳;吴栋伟设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸方形掩膜板坯的沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种大尺寸方形掩膜板坯的沉积装置，包括反应室、模具池、模具托；所述反应室顶部中心线位置安装一排生产燃烧器，所述生产燃烧器的两侧分别设置一排均热燃烧器，所述模具托设置于所述模具池的正下方，所述模具托下方设置运动系统，用于驱动模具托及其上方模具池的上下移动及水平方向的往复移动。本实用新型通过生产燃烧器沉积生长掩膜板坯，并通过均热燃烧器将掩膜板坯的生长面高温软化摊平，通过运动系统驱动模具池沿水平方向往复移动，实现一步沉积得到大尺寸方形掩模板，将其通过外形加工后直接用于掩膜板，无需再通过优先制砣、加工选料和槽沉改形等工序的处理环节，简化产品制备工序、降低材料不必要损耗、节省成本。
本实用新型一种大尺寸方形掩膜板坯的沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸方形掩膜板坯的沉积装置，其特征在于，包括反应室，以及设置于反应室内的模具池、模具托； 所述反应室顶部中心线位置安装一排生产燃烧器，所述生产燃烧器的两侧分别设置一排均热燃烧器，且两排均热燃烧器与所述中心线平行设置，所述生产燃烧器用于沉积生长掩膜板坯，所述均热燃烧器用于将掩膜板坯的生长面高温软化摊平； 所述模具托设置于所述模具池的正下方，用于支撑模具池； 所述模具托下方设置运动系统，用于驱动模具托及其上方模具池的上下移动及水平方向的往复移动，且水平移动方向与所述反应室顶部中心线垂直。
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