昆山索坤莱机电科技有限公司国际瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山索坤莱机电科技有限公司申请的专利提升进气均匀性的等离子工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223363107U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422411943.5，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型提升进气均匀性的等离子工艺腔室是由国际瑞;刘善石设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本提升进气均匀性的等离子工艺腔室在说明书摘要公布了：本实用新型提升进气均匀性的等离子工艺腔室，包括工艺腔室主体，工艺腔室主体内设置有若干带气孔的电极板，若干带气孔的电极板呈自上而下分布状，相邻的带气孔的电极板间的夹层，形成产品处理区；带气孔的电极板的气孔数量为若干，设置于电极板面向产品处理区的一侧，且均匀分布；工艺气体通过带气孔的电极板的气孔，均匀的填充产品处理区，形成提升进气均匀性的等离子工艺腔室结构。
本实用新型提升进气均匀性的等离子工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种提升进气均匀性的等离子工艺腔室，其特征在于：包括工艺腔室主体，工艺腔室主体内设置有若干带气孔的电极板，若干带气孔的电极板呈自上而下分布状，相邻的带气孔的电极板间的夹层，形成产品处理区； 带气孔的电极板的气孔数量为若干，设置于电极板面向产品处理区的一侧，且均匀分布； 工艺气体通过带气孔的电极板的气孔，均匀的填充产品处理区，形成提升进气均匀性的等离子工艺腔室结构； 带气孔的电极板上设置有电极绝缘护套，带气孔的电极板连接有气体输入连接件，气体输入连接件和工艺腔室主体连接处设置有电极引入绝缘密封件，气体输入连接件连接有气管接头，气管接头连接有绝缘气管。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昆山索坤莱机电科技有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城南路185号3号房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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