苏州天准科技股份有限公司孙靖获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州天准科技股份有限公司申请的专利一种脱插洗选一体设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119297116B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411382488.9,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种脱插洗选一体设备是由孙靖;王承平;徐伟锋;熊勇;薛峰设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种脱插洗选一体设备在说明书摘要公布了:本发明提供了一种脱插洗选一体设备,属于硅片加工领域,一种脱插洗选一体设备,包括脱胶机、插片机、清洗机、对接装置、分选机和总控制器;总控制器根据分选机的分选结果展示并前馈至上游的脱胶机、插片机、清洗机和对接装置,判定对应工段是否停机检修。本申请的脱胶、插片阶段均对硅片进行了预检测,并增设了兼顾下游输送满篮硅片筛选和上游输送空花篮检测的对接装置,提高了整体效率,保证了末端分选机的分选成品率,自动化程度高,便于在硅片的生产制造领域推广应用。
本发明授权一种脱插洗选一体设备在权利要求书中公布了:1.一种脱插洗选一体设备,其特征在于:所述脱插洗选一体设备包括脱胶机、插片机、清洗机、对接装置、分选机和总控制器; 其中,所述脱胶机采用药剂监控的喷淋和浸泡脱胶方式,并采用脱胶检测组件对硅片花篮内的硅片脱胶处理情况进行检测; 所述插片机集成分片、抽片、插片预分选、插片和花篮循环供给工段,花篮循环供给工段接收对接装置检测后OK的空花篮,并向清洗机输送插满硅片的满料花篮; 所述清洗机集成浸泡、不同洗涤剂清洗和烘干工段,用于批量的满料花篮的清洗和烘干; 所述对接装置集成硅片满篮检测预选工段和空篮检测回流工段,用于满篮硅片的预筛选和空花篮的外观检测及回流;对接装置包括硅片进料对接皮带线、满篮瑕疵检测模块、满篮瑕疵剔除模块、对接段花篮转运模块、空篮篮齿检测回流线和空篮外形检测流线;所述满篮瑕疵检测模块和满篮瑕疵剔除模块布置在所述硅片进料对接皮带线的流线末端;所述满篮瑕疵剔除模块采用瑕疵篮上层输出和修复篮下层流入及升降的“回”字形料篮供给方式;所述对接段花篮转运模块用于硅片花篮的空间转运;所述空篮外形检测流线布置在所述空篮篮齿检测回流线的下游; 所述分选机包括硅片综合检测工段和硅片分选工段,通过顶吸分片方式实现对不同瑕疵类型的硅片的分选; 所述总控制器根据分选机的分选结果展示并前馈至上游的脱胶机、插片机、清洗机和对接装置,判定对应工段是否停机检修。
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