武汉江丰电子材料有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉江丰电子材料有限公司申请的专利溅射靶材焊接校验治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223361409U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422398562.8,技术领域涉及:G01B21/00;该实用新型溅射靶材焊接校验治具是由姚力军;李闯;周伟君;王青松设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射靶材焊接校验治具在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种溅射靶材焊接校验治具;通过采用固定部和测量部的设计,能够让操作人员在较远距离进行校验操作,降低了烫伤的风险,提高了操作的安全性;由固定部和测量部之间的协同配合,减少了人工手动调整和卡尺直接测量的次数,降低了人为失误;通过将测量部设计为与靶坯形状相匹配的凹槽,能够快速定位靶坯,并确保侧面准确贴合,无需反复调整;通过将测量部凹槽的外缘设计与背板宽度相同,使得测量过程更加直观、易于操作,简化了校验操作;通过固定部可拆卸的方式便于安装,方便操作人员在操作中快速安装和拆卸,缩短了操作时间,并且能够重复利用,延长了治具的使用寿命,有效降低了使用成本。
本实用新型溅射靶材焊接校验治具在权利要求书中公布了:1.溅射靶材焊接校验治具,用于校验靶坯100尺寸以及靶坯100与背板200相对位置,其特征在于,所述溅射靶材焊接校验治具包括: 固定部1,所述固定部1可拆卸地设置于所述背板200上; 测量部2,所述测量部2设置于所述固定部1面向所述靶坯100的一侧,所述测量部2开设有凹槽3,所述凹槽3的开口方向与所述固定部1相背,所述凹槽3侧壁的形状与所述靶坯100的侧面形状相匹配,所述靶坯100的部分侧面与所述凹槽3侧壁贴合,所述测量部2宽度与所述背板200宽度相同。
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