河南启昂半导体有限公司李孟泽获国家专利权
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龙图腾网获悉河南启昂半导体有限公司申请的专利一种半导体沟槽腐蚀加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223363132U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422344451.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种半导体沟槽腐蚀加工装置是由李孟泽;赵立群;周皓;刘杰;韩婉琳设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体沟槽腐蚀加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种半导体沟槽腐蚀加工装置，包括限位环，限位环内壁固接有支撑环；所述限位环上设有对半导体固定的夹持机构，支撑环下表面固接有环形挡板；所述夹持机构包括沿圆周均布的若干夹板，若干所述夹板上均固接有倾斜板；所述限位环上固接有若干滑筒，若干所述夹板上均固接有与若干所述滑筒滑动连接的滑杆；所述滑杆上固接有受力板，滑筒内设有与受力板对应的顶簧；本实用新型提供了一种能够均匀腐蚀的半导体沟槽腐蚀加工装置。
本实用新型一种半导体沟槽腐蚀加工装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体沟槽腐蚀加工装置，其特征在于：包括限位环（1），限位环（1）内壁固接有支撑环（3）；所述限位环（1）上设有对半导体固定的夹持机构，支撑环（3）下表面固接有环形挡板（2）；所述夹持机构包括沿圆周均布的若干夹板（4），若干所述夹板（4）上均固接有倾斜板（5）；所述限位环（1）上固接有若干滑筒（12），若干所述夹板（4）上均固接有与若干所述滑筒（12）滑动连接的滑杆（11）；所述滑杆（11）上固接有受力板（13），滑筒（12）内设有与受力板（13）对应的顶簧（14）。
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