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龙图腾网获悉复旦大学申请的专利一种用于光学轮廓仪的测量误差灵敏度分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119205888B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411231417.9，技术领域涉及：G06F17/12；该发明授权一种用于光学轮廓仪的测量误差灵敏度分析方法是由王伟;焦思程;徐敏设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于光学轮廓仪的测量误差灵敏度分析方法在说明书摘要公布了：本发明涉及仪器仪表设计领域，具体的为一种用于光学轮廓仪的测量误差灵敏度分析方法；包括以下步骤：S1、几何误差分析；S2、建立拓扑结构；S3、建立测量误差模型；S4、定义误差灵敏度评价指标；S5、误差灵敏度分析；S6、敏感误差识别；本发明基于光学轮廓仪的法向量测量特点，将具有六个分量的传统空间误差评价指标统一为了一个综合评价指标，同时综合考虑了传感器与待测工件间的位置偏差以及姿态偏差；可以更为准确、直观地获得光学轮廓仪的各项几何误差对于最终测量误差的影响程度，为光学轮廓仪的测量精度设计以及测量误差补偿提供有力依据，有助于提升光学轮廓仪的测量精度。

本发明授权一种用于光学轮廓仪的测量误差灵敏度分析方法在权利要求书中公布了：1.一种用于光学轮廓仪的测量误差灵敏度分析方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、几何误差分析：根据光学轮廓仪的特性，确立各个运动轴的位置相关几何误差PDGEs和位置无关几何误差PIGEs； S2、建立拓扑结构：基于多刚体系统理论，将各运动轴视为刚体，按照低序列方式对测量结构进行简化，建立测量装置的拓扑结构； S3、建立测量误差模型：利用齐次坐标变换法描述各个部件与参考坐标系间的位置关系；为每个刚体建立独立的局部坐标系，将刚体间的相对运动通过齐次坐标变换的方式进行描述，建立相邻运动轴间刚体传递矩阵，并建立测量点误差的数学模型； S4、定义误差灵敏度评价指标：根据光学轮廓仪法向测量的特点，建立等效工作距离偏差WDE e 作为测量误差灵敏度指数； S5、误差灵敏度分析：选定标准测量对象，使用光学轮廓仪对标准测量点进行测量，根据所测得的测量点位置求解运动轴的运动量，并采用偏微分的方式，对各项几何误差的误差灵敏度进行定量计算与分析； S6、敏感误差识别：根据S5中误差灵敏度分析的结果，并定义临界误差；超过临界误差的误差即为影响最终测量误差的关键几何误差； 所述步骤S4中，定义误差灵敏度评价指标的过程包括： 基于二次曲面建立测量误差灵敏度指数，二次曲面在工件坐标系下的通用方程表达为： 对于该曲面上某点，该点处的法向量表示为： 将位置误差对于测量误差的影响投影工作距离偏差WDEp表征为位置误差在待测表面法向上的投影，其计算公式如下： 式中，为传感器测量点的空间位置误差的向量； 与空间位置误差类似，每个误差成分对空间姿态误差的贡献可视为其在测量空间姿态误差O e 上的投影；定义等效工作距离偏差WDE e 为测量误差灵敏度指数，如下式所示： 式中，R s 是传感器测量点的有效回转半径，θ是姿态误差所造成的传感器倾角，R s 和θ的计算公式如下： 式中，L为传感器长度，d0为传感器理论工作距离，O e 表示传感器测量点的空间姿态误差。

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