新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种暗场缺陷检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119023679B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411212410.2,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权一种暗场缺陷检测装置是由张琪;符友银;徐静静设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种暗场缺陷检测装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种暗场缺陷检测装置,涉及光学检测技术领域。暗场缺陷检测装置包括第一照明光学系统、第一反射镜和成像系统;第一照明光学系统,被配置为发射暗场照明光束,暗场照明光束由待测物体的端面入射至待测物体的内部;成像系统被配置为对由待测物体的上表面或者下表面出射的光束成像;第一反射镜被配置为将由待测物体的端面出射的光束,再次反射进入到待测物体中。本发明实施例提高了能量利用率,节约了成本,增加了检测的可调性和灵活性。
本发明授权一种暗场缺陷检测装置在权利要求书中公布了:1.一种暗场缺陷检测装置,其特征在于,包括第一照明光学系统、第一反射镜和成像系统; 所述第一照明光学系统,被配置为发射暗场照明光束,所述暗场照明光束由待测物体的端面入射至所述待测物体的内部; 所述成像系统被配置为对由所述待测物体的上表面或者下表面出射的光束成像; 所述第一反射镜被配置为将由所述待测物体的端面出射的光束,再次反射进入到所述待测物体中; 还包括第二反射镜、第三反射镜和直角反射镜; 所述第二反射镜位于所述待测物体的上表面与所述第三反射镜之间的光路上,所述第三反射镜位于所述第二反射镜与所述直角反射镜之间的光路上,所述第二反射镜和所述第三反射镜被配置为,将由所述待测物体的上表面出射的光束,投射至所述直角反射镜,经所述直角反射镜投射至所述成像系统; 所述第一照明光学系统入射至所述待测物体的端面的入射角在预设角度范围内; 还包括第四反射镜和第五反射镜; 所述第四反射镜位于所述待测物体的下表面与所述第五反射镜之间的光路上,所述第五反射镜位于所述第四反射镜与所述直角反射镜之间的光路上,所述第四反射镜和所述第五反射镜被配置为,将由所述待测物体的下表面出射的光束,投射至所述直角反射镜,经所述直角反射镜投射至所述成像系统。
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