苏州脉巨自动化设备科技有限公司黄帆获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州脉巨自动化设备科技有限公司申请的专利一种半导体用UV固化炉密封结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223362493U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422083419.X,技术领域涉及:G03F7/38;该实用新型一种半导体用UV固化炉密封结构是由黄帆设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体用UV固化炉密封结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体为一种半导体用UV固化炉密封结构,包括UV固化炉,所述UV固化炉上设有炉体,且炉体内对称固定有隔板,并且炉体两端分别安装有可视窗,所述炉体内依次设有进料室、固化室以及出料室,且炉体内安装有网式传送带,所述炉体于进料室侧面设有进料箱,且进料箱两端分别安装有第一密封门和第二密封门,并且进料箱内安装有进料架,所述第一密封门底部与进料箱铰接固定,所述第二密封门上端安装有升降液压缸,且第二密封门底部设有密封条。该半导体用UV固化炉密封结构在进出料处均设置双重密封门结构,具有空气缓冲空间,能够有效去除进入固化炉内的杂质,同时密封结构具有高减震性,能够起到减震降噪的作用。
本实用新型一种半导体用UV固化炉密封结构在权利要求书中公布了:1.一种半导体用UV固化炉密封结构,包括UV固化炉(1),其特征在于:所述UV固化炉(1)上设有炉体(2),且炉体(2)内对称固定有隔板(3),并且炉体(2)两端分别安装有可视窗(17),所述炉体(2)内依次设有进料室(21)、固化室(20)以及出料室(19),且炉体(2)内安装有网式传送带(4),所述炉体(2)于进料室(21)侧面设有进料箱(9),且进料箱(9)两端分别安装有第一密封门(11)和第二密封门(8),并且进料箱(9)内安装有进料架(10),所述第一密封门(11)底部与进料箱(9)铰接固定,使第一密封门(11)能够翻转打开,所述第二密封门(8)上端安装有升降液压缸(6),且第二密封门(8)底部设有密封条(12),所述炉体(2)顶部安装有排气系统(5),且进料箱(9)与排气系统(5)通过管道连通。
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