中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司马东获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种辅助搬运装置和搬运系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223356629U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422061391.X,技术领域涉及:B65G35/00;该实用新型一种辅助搬运装置和搬运系统是由马东;何伟设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种辅助搬运装置和搬运系统在说明书摘要公布了:本申请涉及以一种辅助搬运装置和搬运系统,该辅助搬运装置包括搬运主体和转移机构,搬运主体包括承接台,承接台的台面包括晶圆盒放置区域,转移机构设置于搬运主体上,搬运主体用于承接来自天车系统的晶圆盒于晶圆盒放置区域,转移机构用于将晶圆盒放置区域中的晶圆盒转移至机台内置的载入装置SMIF中。本申请实施例中,通过设置在天车系统和机台之间的辅助搬运装置,可以实现将晶圆盒从天车系统上搬运至机台内嵌的载入装置SMIF中。如此,不但实现了全自动化生产流程,而且还可以因为全自动化的生产流程减少更多的污染风险。
本实用新型一种辅助搬运装置和搬运系统在权利要求书中公布了:1.一种辅助搬运装置,其特征在于,包括搬运主体和转移机构; 所述搬运主体包括承接台;所述承接台的台面包括晶圆盒放置区域; 所述转移机构设置于所述搬运主体上; 所述搬运主体用于承接来自天车系统的晶圆盒于所述晶圆盒放置区域,所述转移机构用于将所述晶圆盒放置区域中的晶圆盒转移至机台内置的载入装置SMIF中。
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