北京奥普托科微电子技术有限公司朱常兴获国家专利权
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龙图腾网获悉北京奥普托科微电子技术有限公司申请的专利用于半导体晶片定位的运动台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223363131U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422062592.1,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型用于半导体晶片定位的运动台是由朱常兴;赵文斌;蒋健君;王志康;齐孟宗设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体晶片定位的运动台在说明书摘要公布了:本申请公开了一种用于半导体晶片定位的运动台,包括基座;承载件,用于承载半导体晶片;固定组件,安装于基座;用于安装连接承载件;顶升组件,可伸缩的安装于固定组件与承载件之间,用于驱动承载件沿第一方向运动;旋转组件,旋转组件活动安装于固定组件,旋转组件包括驱动件和沿周向间隔连接于固定组件的至少两个铰链结构,驱动件与其中一个铰链结构相连接,其余铰链结构均固定连接于基座,驱动件用于驱动多个铰链结构发生形变并带动固定组件围绕沿第一方向延伸的中心轴旋转。本申请的用于半导体晶片定位的运动台,能够对晶片进行高度和角度进行综合调整,保证调节位置的准确性。
本实用新型用于半导体晶片定位的运动台在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体晶片定位的运动台,其特征在于,包括: 基座10; 承载件20,用于承载半导体晶片; 固定组件30,安装于所述基座10,用于安装所述承载件20; 顶升组件40,可伸缩地安装于所述固定组件30与所述承载件20之间,用于驱动所述承载件20沿第一方向X运动; 旋转组件50,所述旋转组件50活动安装于所述固定组件30,所述旋转组件50包括驱动件51和沿周向间隔连接于所述固定组件30的至少两个铰链结构,所述驱动件51与其中一个所述铰链结构相连接,其余所述铰链结构均固定连接于所述基座10,所述驱动件51用于驱动多个所述铰链结构发生形变并带动所述固定组件30围绕沿所述第一方向X延伸的中心轴旋转。
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