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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种多级限位抗过载MEMS电容式加速度传感器结构及传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119023999B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411145822.9，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种多级限位抗过载MEMS电容式加速度传感器结构及传感器是由韦学勇;王实秋;赵明辉;王文锋;齐永宏设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多级限位抗过载MEMS电容式加速度传感器结构及传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及微机电系统制造技术领域，尤其是多级限位抗过载MEMS电容式加速度传感器结构及传感器，包括敏感质量块、可动和非可动电极梳齿、U形敏感弹性梁、检测梳齿锚点、止挡结构锚点、M形止动梁、面外止动梁锚点、刚性凸起、柔性孔缝、质量块孔缝、刚性限位锚点和止挡结构连接部；通过设置两套刚性加柔性双级限位结构，实现对敏感质量块因X轴和Y轴冲击加速度导致的大位移的限制；通过M形止动梁的设置，实现对敏感质量块因Z轴冲击加速度导致大位移的限制。通过刚性限位锚点的设置，提升硅结构层刻蚀均匀性，缓解结构层小线宽处的过刻蚀现象，并提升传感器敏感结构抗过载能力和稳定性。解决现有加速度传感器抗过载能力低、可靠性差的问题。

本发明授权一种多级限位抗过载MEMS电容式加速度传感器结构及传感器在权利要求书中公布了：1.一种多级限位抗过载MEMS电容式加速度传感器，其特征在于，以所述加速度传感器的中心点为原点，以横轴为X轴，以纵轴为Y轴，以法向轴为Z轴建立坐标系； 包括对称设置在衬底上的敏感质量块（14）、若干的U形敏感弹性梁（1）和若干非可动电极梳齿（12）；所述U形敏感弹性梁（1）对称分布在X轴及Y轴两侧，且U形敏感弹性梁（1）的一端连接有止挡结构连接部（15），所述止挡结构连接部（15）通过止挡结构锚点（2）固定在衬底上；所述止挡结构连接部（15）靠近敏感质量块（14）的一侧设置有柔性孔缝（3）；所述U形敏感弹性梁（1）的另一端连接敏感质量块（14）； 所述敏感质量块（14）横轴方向以Y轴作为对称轴，纵轴方向以X轴作为对称轴，呈对称结构；所述敏感质量块（14）沿Y轴方向的两端连接有M形止动梁（7），所述M形止动梁（7）与衬底连接，用于对敏感质量块（14）的Z轴方向进行限位；所述敏感质量块（14）上设置有若干的可动电极梳齿（10），所述可动电极梳齿（10）与所述非可动电极梳齿（12）一一对应，构成梳齿电容结构； 所述敏感质量块（14）沿Y轴两侧对称设置有空心结构，所述空心结构内部设置有刚性限位锚点（6），靠近所述空心结构的端部的敏感质量块（14）上分别设置有质量块孔缝（5）； 所述敏感质量块（14）的外侧边缘设置有刚性凸起（4），所述刚性凸起（4）一一对应柔性孔缝（3）。

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