汇乐智能装备(常州)有限公司戴峰获国家专利权
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龙图腾网获悉汇乐智能装备(常州)有限公司申请的专利一种半导体晶圆除尘机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223352327U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421992286.1,技术领域涉及:B08B1/20;该实用新型一种半导体晶圆除尘机是由戴峰;罗华俭;陈文设计研发完成,并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆除尘机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体晶圆除尘机,涉及半导体技术领域。包括底座,所述底座的顶部固定连接有支柱,所述支柱的顶端固定连接有除尘箱,所述除尘箱上开设有活动槽,所述除尘箱的内壁滑动连接有收集屉,所述收集屉的顶部开设有顶部开口,所述顶部开口的内侧壁固定连接有防护板。使用时,拉动把手将收集屉打开,然后将半导体晶圆放在置物板上,并将收集屉推回到除尘箱内,通过防护板和挡板对外界灰尘进行隔绝,然后启动电机带动置物板旋转,并在同步启动气缸和电动推杆的情况下,使清洁棉擦能够对半导体晶圆进行全方位的来回清扫,且本装置的除尘机构安装在除尘箱内,密封性能好,除尘时可充分减少受到外界环境的干扰,除尘效果好。
本实用新型一种半导体晶圆除尘机在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆除尘机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有支柱(3),所述支柱(3)的顶端固定连接有除尘箱(2),所述除尘箱(2)上开设有活动槽(4),所述除尘箱(2)的内壁滑动连接有收集屉(5),所述收集屉(5)的顶部开设有顶部开口(7),所述顶部开口(7)的内侧壁固定连接有防护板(8),所述收集屉(5)的前端铰接有挡板(6),所述收集屉(5)的外壁固定连接有把手(16),所述收集屉(5)的内壁底部固定连接有圆台(9),所述圆台(9)的中心位置开设有圆孔(10),所述圆孔(10)的内壁固定连接有固定架(11),所述固定架(11)的内壁固定连接有电机(12),所述电机(12)的输出端固定连接有置物板(13),所述置物板(13)的顶部粘接有防滑胶垫(14),所述除尘箱(2)上设置有箱盖(17),所述箱盖(17)的底部设置有除尘机构。
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