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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118938610B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411118784.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法是由张志宇;徐凯;边湘吉;胡海翔;魏鸿达;张学军设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法，包括以下步骤：图案位置误差标定；网格标定板图案位置误差解耦；图案位置误差分离；图案位置误差补偿。本发明在补偿两轴导轨产生的低频误差的基础上，建立了中低频位置误差估计模型，直接在设计图案中对光刻系统固有的中低频误差进行点对点补偿，实现了对可补偿误差成分的全量高精度补偿。本发明不涉及复杂的设计流程、操作流程，不依赖绝对检测技术，提高了误差补偿精度，降低了加工成本。

本发明授权一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1：图案位置误差标定； 使用网格标定板标定激光直写光刻系统的图案位置误差，具体包括以下步骤： Step1：将网格标定板放置在由两轴导轨驱动的基板平台上，调整其网格坐标系与系统坐标系对准，以确保后续标定程序能够正常执行； Step2：执行标定程序，基板平台按照程序设计路径依次到达每一网格点，系统记录实际到达的位置坐标xa,ya，其与理想网格点坐标xb,yb之间的差值为该点处的图案位置误差xa-xb,ya-yb，由此得到标定误差矩阵P； Step3：在基板平台平面内将网格标定板旋转90度，重复Step1、Step2，得到旋转后的标定误差矩阵Q； 步骤2：网格标定板图案位置误差解耦； 根据标定误差矩阵数据，建立网格标定板图案误差旋转解耦模型，解算网格标定板图案位置误差，具体包括以下步骤： Step1：建立图案误差旋转解耦模型；根据步骤1得到的初始的标定误差矩阵P、旋转后的标定误差矩阵Q，旋转矩阵为MR，网格标定板的图案位置误差矩阵为PS，激光直写光刻系统的图案位置误差矩阵为PM，则有如下关系： Q＝MR·PS+PM, P＝PS+PM Step2：图案位置误差解算；根据Step1中描述的矩阵关系，解算得到图案位置误差矩阵分别为： PS＝Q-PMR-1, PM＝P-PS 在标定误差矩阵中分离出由网格标定板引入的图案位置误差PS，得到仅由激光直写光刻系统产生的图案位置误差PM； 步骤3：图案位置误差分离； 分别建立基于仿射变换的低频位置误差拟合模型和基于优化多项式的中低频位置误差拟合模型，对激光直写光刻系统产生的步骤2获得的图案位置误差进行完全分离； 步骤4：图案位置误差补偿； 将步骤3分离得到的各部分图案位置误差分别进行补偿。

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