上海积塔半导体有限公司曹棚棚获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种晶圆边缘缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223362059U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421946843.6，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种晶圆边缘缺陷检测装置是由曹棚棚;解海江;何勇设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆边缘缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本申请属于半导体设备技术领域，提供一种晶圆边缘缺陷检测装置，用于晶圆边缘的缺陷检测中，包括承载台面、第一摄像部、旋转轴和图像处理部，晶圆放置于承载台面的上表面，第一摄像部位于承载台面的上方且对准晶圆边缘，以获取晶圆正面的晶圆边缘图像，旋转轴连接至承载台面的下表面，能够带动承载台面转动，图像处理部连接至第一摄像部，对接收的晶圆边缘图像进行处理以生成晶圆轮廓图，将获取的晶圆轮廓图与晶圆模板图进行比对，能够获取晶圆的边缘缺陷位置，对其标记后并进行留存，有效地提高了对晶圆缺陷的检测效率和检测准确性。
本实用新型一种晶圆边缘缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘缺陷检测装置，用于晶圆边缘的缺陷检测中，其特征在于，包括： 承载台面，具有相对设置的上表面和下表面，晶圆放置于所述承载台面的上表面上，所述晶圆具有相对设置的正面和背面，所述背面与所述承载台面接触； 第一摄像部，位于所述承载台面的上方，且所述第一摄像部对准所述晶圆边缘，以获取所述晶圆正面的晶圆边缘图像； 旋转轴，连接至所述承载台面的下表面，以带动所述承载台面绕所述旋转轴的轴线转动； 图像处理部，连接至所述第一摄像部，以接收所述晶圆边缘图像，并对所述晶圆边缘图像进行处理，以生成晶圆轮廓图。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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