合肥工业大学李瑞君获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118857098B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411038624.2，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头是由李瑞君;沈益;李洁;马少华;程真英设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头，包括具有圆柱形内腔的探头壳体；微球探针呈竖直固定在弹性簧片的下表面，分光棱镜固定在弹性簧片上表面，激光器和直角棱镜固定设置在探头壳体的下盖上，弹性簧片设置在下盖的中空圆面处；激光器和直角棱镜分处在分光棱镜的两侧，使激光器水平发射的准直光投射至分光棱镜，分光棱镜反射光向上投射至第一位置敏感探测器，分光棱镜透射光投射至直角棱镜，并经直角棱镜反射向上投射至第二位置敏感探测器；利用第二位置敏感探测器实现出射光热漂移测量，有效提高热稳定性。
本发明授权一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头在权利要求书中公布了：1.一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头，其特征是包括： 探头壳体，其是在圆柱竖筒4的顶端和底端分别设置上盖1和下盖6，形成具有圆柱形内腔的探头壳体，所述下盖6是具有中空圆面的环形端盖； 测头单元，其包括微球探针8呈竖直固定在弹性簧片7的下表面的中心位置处，分光棱镜10固定在所述弹性簧片7的上表面的中心位置处，激光器9和直角棱镜5固定设置在下盖6的上端面上，弹性簧片7设置在下盖6的中空圆面处；所述激光器9和直角棱镜5分处在分光棱镜10的两侧，使所述激光器9水平发射的准直光投射至分光棱镜10，使分光棱镜10的反射光向上投射，分光棱镜10的透射光投射至直角棱镜5，并经所述直角棱镜5反射向上投射； 感测单元，其包括固定设置在上盖1的下端面上的第一位置敏感探测器2和第二位置敏感探测器3，所述分光棱镜10中形成的反射光投射至第一位置敏感探测器2，直角棱镜5的反射光投射到第二位置敏感探测器3；利用第二位置敏感探测器3实现出射光热漂移测量。
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