中国海洋大学;厦门大学;青岛海研电子有限公司李俊漾获国家专利权
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龙图腾网获悉中国海洋大学;厦门大学;青岛海研电子有限公司申请的专利基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118945987B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410999484.9,技术领域涉及:H05K1/09;该发明授权基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列及其制备方法是由李俊漾;薛晨阳;温琦;高立波;滕延越;王鑫设计研发完成,并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列及其制备方法,属于柔性可穿戴电子及微纳传感器件领域。该叉指传感器阵列的制备方法包括以下步骤:S1、制备叉指电极层;S2、涂覆第一绝缘层;S3、涂覆电极层导线;S4、涂覆第二绝缘层;S5、涂覆间隔层;S6、制备敏感层;S7、传感器阵列封装;将S5制备的电极层‑第一绝缘层‑电极层导线‑第二绝缘层‑间隔层薄膜与S6制备的敏感层对准粘结,进行封装,得到基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列。本发明能够尽可能减少叉指传感器阵列输出端口数量,并保持优异的柔性,而且整体力学性能得到提升,具有高灵敏度、高稳定性。
本发明授权基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列的制备方法,其特征在于包括以下步骤: S1、制备叉指电极层; 选取柔性基底,在柔性基底上进行激光刻蚀,得到带有底纹结构的柔性基底; 将导电油墨丝网印刷于带有底纹结构的柔性基底上,形成叉指电极阵列,叉指电极阵列和柔性基底为一体化结构,即为叉指电极层; S2、涂覆第一绝缘层; 将绝缘油墨丝网印刷于叉指电极层上引线交叠处,形成第一绝缘层,得到电极层-第一绝缘层薄膜; 所述第一绝缘层将叉指电极阵列的引线交叠处覆盖; S3、涂覆电极层导线; 将导电油墨丝网印刷于S2得到的电极层-第一绝缘层薄膜上,形成电极互联的电极层导线,得到电极层-第一绝缘层-电极层导线薄膜; 所述电极层导线设置于第一绝缘层的上方,通过第一绝缘层将叉指电极阵列的引线交叠处与电极层导线隔开,电极层导线与叉指电极阵列连接; S4、涂覆第二绝缘层; 将绝缘油墨丝网印刷于S3得到的电极层-第一绝缘层-电极层导线薄膜上,形成防止串扰的第二绝缘层,得到电极层-第一绝缘层-电极层导线-第二绝缘层薄膜; 第二绝缘层覆盖在柔性基底上,且在第二绝缘层上正对叉指电极阵列的位置处设置有阵列通孔; S5、涂覆间隔层; 将间隔层油墨丝网印刷于S4得到的电极层-第一绝缘层-电极层导线-第二绝缘层薄膜上,形成间隔层,得到电极层-第一绝缘层-电极层导线-第二绝缘层-间隔层薄膜; 间隔层包括外边框,在外边框围拢形成的内部空间中间隔设置有间隔条,间隔条处于正对叉指电极阵列的间隙处,且间隔条包括若干个段体; S6、制备敏感层; 选取柔性基底,将敏感层油墨丝网印刷于柔性基底上,在印刷有敏感层油墨的薄膜一面进行激光刻蚀,得到敏感层; 所述敏感层即是在柔性基底的一面布置有敏感区阵列,敏感区阵列处于叉指电极阵列的正上方; S7、传感器阵列封装; 将S5制备的电极层-第一绝缘层-电极层导线-第二绝缘层-间隔层薄膜与S6制备的敏感层对准粘结,进行封装,得到基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列。
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