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龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利光刻机的光罩版对准控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117311107B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311407054.5，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权光刻机的光罩版对准控制方法是由张琪;符友银设计研发完成，并于2023-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机的光罩版对准控制方法在说明书摘要公布了：提供了一种光刻机的光罩版对准控制方法，包括：在状态机处于初始空闲状态时，接收对准消息进入消息队列；在所述状态机处于系统对准状态时，接收用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息进入所述消息队列；将用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机用于控制所述电气设备移动；以及接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机的光罩版对准操作。这样，可以对对准流程进行实时中断和恢复，并异步并发地控制电气设备。

本发明授权光刻机的光罩版对准控制方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻机的光罩版对准控制方法，包括： 在状态机处于初始空闲状态时，接收对准消息进入消息队列； 在所述状态机处于系统对准状态时，接收用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息进入所述消息队列； 将用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机用于控制所述电气设备移动；以及 接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机的光罩版对准操作； 其中，接收用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息进入所述消息队列包括：并行串行接收用于控制光罩版传控机械手移动到接版位和控制光罩版工作台移动到接版位的消息进入所述消息队列； 将用于控制所述光刻机的光罩版放版的电气设备的移动消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机，用于控制所述电气设备移动包括：将控制光罩版传控机械手移动到接版位的消息弹出所述消息队列，以驱动所述状态机进入光罩版传控机械手移动控制状态，用于执行将所述光罩版传控机械手移动到接版位的操作；以及，将控制光罩版工作台移动到接版位的消息弹出所述消息队列，以驱动所述状态机进入光罩版工作台移动控制状态，用于执行所述光罩版工作台移动到接版位的操作； 所述消息队列在单线程内实施对新消息的入队和对当前信息的行为操作执行。

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