新毅东(上海)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利一种光刻机硅片传控方法及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117170195B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311246496.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机硅片传控方法及光刻机是由张琪;符友银设计研发完成，并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机硅片传控方法及光刻机在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光刻机硅片传控方法及光刻机，该方法包括：获取光刻机所包含不同工作位分别对应的作业动作与作业顺序，基于作业动作实时监测不同工作位对应的作业状态，作业状态包括忙状态与闲状态；当监测到工作位对应的作业状态为闲状态时，根据作业顺序从上一个工作位将执行完上一个工作位对应作业动作的硅片传输至闲状态对应的工作位，以执行闲状态对应的工作位对应作业动作，并将闲状态对应的工作位的作业状态切换为忙状态，以并行对多个硅片进行传控；其中，工作位包括机械手、预对准位以及工作台。通过本发明，保证了光刻机中硅片的传控效率，并进一步保证了光刻机的产能。
本发明授权一种光刻机硅片传控方法及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种光刻机硅片传控方法，其特征在于，包括： 获取光刻机所包含不同工作位分别对应的作业动作与作业顺序，基于所述作业动作实时监测不同工作位对应的作业状态，所述作业状态包括忙状态与闲状态； 当监测到工作位对应的作业状态为闲状态时，根据作业顺序从上一个工作位将执行完上一个工作位对应作业动作的硅片传输至闲状态对应的工作位，以执行闲状态对应的工作位对应作业动作，并将所述闲状态对应的工作位的作业状态切换为忙状态，以并行对多个硅片进行传控； 其中，所述工作位包括机械手、预对准位以及工作台； 所述作业顺序为：机械手从片盒中取出未预对准且未曝光的硅片置于预对准位进行预对准，待预对准结束后，机械手将未曝光的硅片置于工作台进行曝光，待曝光结束后，机械手将曝光后的硅片置于片盒； 所述机械手包括：第一机械手与第二机械手，所述第一机械手用于片盒与预对准位之间以及工作台与片盒之间硅片的传输，所述第二机械手用于预对准位与工作台之间硅片的传输。
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