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龙图腾网获悉中国科学院金属研究所申请的专利一种适用于分段膜材料均匀连续大面积制备的化学气相沉积反应设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117107218B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311165463.9，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种适用于分段膜材料均匀连续大面积制备的化学气相沉积反应设备是由任文才;马超群;盖龙飞;刘海超;成会明设计研发完成，并于2023-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于分段膜材料均匀连续大面积制备的化学气相沉积反应设备在说明书摘要公布了：本发明涉及化学气相沉积反应设备领域，具体是一种适用于分段膜材料均匀连续大面积制备的化学气相沉积反应设备。该设备由供气系统、原料区、反应区、成品区和尾气及真空系统构成，原料区与反应区的反应炉管进料端连接，成品区与反应区的反应炉管出料端连接，原料区的推送托轨与反应区的过料导轨同轴对齐，过料导轨同轴置于反应区的反应炉管内；供气系统通过保护气管路与原料区、成品区相连通，供气系统通过反应气管路与成品区相连通，尾气及真空系统的真空系统、尾气系统分别与原料区、成品区相连通。本发明保证了分段膜材料能够可控连续制备，且基底在连续制备过程中各个位置经历同等均匀的生长环境，材料的上下两个表面均可参与反应生长薄膜。

本发明授权一种适用于分段膜材料均匀连续大面积制备的化学气相沉积反应设备在权利要求书中公布了：1.一种适用于分段膜材料均匀连续大面积制备的化学气相沉积反应设备，其特征在于，该设备由供气系统、原料区、反应区、成品区和尾气及真空系统构成，具体结构如下： 原料区的原料仓与反应区的反应炉管进料端连接，成品区的成品仓与反应区的反应炉管出料端连接；供气系统通过第一保护气管路与原料区的保护气管路接口相连通，供气系统通过第二保护气管路、第三保护气管路与成品区的保护气管路接口相连通，供气系统通过反应气管路与成品区的反应气管路接口相连通；尾气及真空系统的真空泵分别通过第一真空管路、第二真空管路与原料区的真空管路接口相连通，尾气及真空系统的真空泵通过第三真空管路与成品区的真空管路接口相连通；尾气及真空系统的尾气系统经过第二止逆阀后通过第一尾气管路、第二尾气管路与原料区的尾气管路接口相连通，尾气及真空系统的尾气系统经过第二止逆阀后通过第三尾气管路与成品区的尾气管路接口相连通，尾气及真空系统的尾气系统经过第二止逆阀后通过第四尾气管路与真空系统的尾气管路接口相连通； 原料区的原料仓上部设有原料仓缓冲仓，成品区的成品仓下部设有成品仓缓冲仓；原料区的推送托轨与反应区的过料导轨同轴对齐，过料导轨同轴置于反应区的反应炉管内； 原料区的原料仓安装于支架上，其上端法兰开口处设置水平的原料仓外门，原料仓外门的下方于原料仓内腔中设置水平的原料仓内门，原料仓外门与原料仓内门之间形成的腔室为原料仓缓冲仓，原料仓的内腔底部设置推送托轨，推送托轨的外壁为与原料仓内壁随形的半圆筒状，推送托轨的内壁对称设有导轨，推送托轨的导轨上方与局域推送装置的推料板相对应，原料仓靠近局域推送装置的一侧安装原料端密封法兰，原料仓的另一侧在原料仓与反应区的反应炉管进料端连接处设置水冷密封法兰； 在原料仓尾端连接局域推送装置，局域推送装置的具体结构如下： 推料端密封法兰和原料端密封法兰相对应并通过螺丝一起密封固定于原料仓尾端，推料端密封法兰的一侧同轴一体设有套筒，传动杆的一端穿过原料端密封法兰密封于推料端密封法兰一侧的套筒中，传动杆的另一端通过传动连接器与水平的推料板连接，推料板与原料仓内腔的推送托轨呈滑动配合； 套筒上安装直线滑台模组连接外套，直线滑台模组连接外套通过连接板与直线滑台模组上的滑块连接，直线滑台模组连接外套通过滑块在直线滑台模组上往复滑动，进一步带动传动杆、传动连接器、推料板动作； 直线滑台模组连接外套内侧与套筒之间依次同轴设置传动模组磁铁、传动模组直线轴承，传动模组磁铁、传动模组直线轴承的两端设置磁力传动模组限位；伸至套筒内的传动杆一端外侧与套筒之间依次同轴固定设置从动模组磁铁、从动模组直线轴承，从动模组磁铁、从动模组直线轴承的两端设置磁力从动模组限位； 反应区包括管式加热炉、反应炉管、过料导轨以及气体匀相分布器，具体结构如下：反应炉管沿水平方向穿设于管式加热炉，反应炉管的内腔下半部设置过料导轨，过料导轨的外壁为与反应炉管内壁随形的半圆筒状，过料导轨的上口处安装气体匀相分布器，气体匀相分布器为敞口槽结构，其上口嵌设有出气板，出气板表面密排有气体匀相分布器出气孔，沿进气方向气体匀相分布器出气孔数目逐渐密集、从中轴向两侧气体匀相分布器出气孔孔径逐渐变大的规则排布，气体匀相分布器通过其侧面开设的气体匀相分布器进气接口与反应气管路相连通； 气体匀相分布器内腔为气体匀相分布器匀气腔，气体匀相分布器匀气腔设有与气体匀相分布器进气接口相连通的进气通道，进气通道的两侧对称设置分气隔腔，分气隔腔为敞口槽结构，分气隔腔与进气通道对应的一侧开设通气口，进气通道经过通气口与分气隔腔相连通，通气口按沿进气方向逐渐变大的规则排布。

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