中国科学院金属研究所任文才获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院金属研究所申请的专利一种适用于多孔宏观体材料均匀连续高效制备的化学气相沉积反应设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117187783B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311158789.9,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权一种适用于多孔宏观体材料均匀连续高效制备的化学气相沉积反应设备是由任文才;马超群;盖龙飞;刘海超;成会明设计研发完成,并于2023-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于多孔宏观体材料均匀连续高效制备的化学气相沉积反应设备在说明书摘要公布了:本发明涉及化学气相沉积反应设备领域,具体地说是一种适用于多孔宏观体材料均匀连续高效制备的化学气相沉积反应设备。该设备由进气控制系统、进料系统、反应系统、收料系统和尾气及真空系统构成,进气控制系统通过保护气管路与进料系统、收料系统相连通,通过反应气管路与收料系统相连通;进料系统设置局域传送履带,进料系统的进料仓上部设有进料缓冲仓,反应系统的内衬腔中间过料狭缝与进料系统的局域传送履带同轴对齐,收料系统的收料仓下部设有收料缓冲仓,尾气及真空系统的真空系统、尾气系统分别与进料系统、收料系统相连通。本发明保证了多孔体相材料连续制备过程中各个位置能经历同等均匀高效的生长环境,突破了材料尺寸尤其是长度限制。
本发明授权一种适用于多孔宏观体材料均匀连续高效制备的化学气相沉积反应设备在权利要求书中公布了:1.一种适用于多孔宏观体材料均匀连续高效制备的化学气相沉积反应设备,其特征在于,该设备由进气控制系统、进料系统、反应系统、收料系统和尾气及真空系统构成,具体结构如下: 进料系统的进料仓与反应系统的反应炉管进料端连接,收料系统的收料仓与反应系统的反应炉管出料端连接;进气控制系统通过第一保护气管路与进料系统的保护气管路接口相连通,进气控制系统通过第二保护气管路、第三保护气管路与收料系统的保护气管路接口相连通,进气控制系统通过反应气管路与收料系统的反应气管路接口相连通;尾气及真空系统的真空系统分别通过第一真空管路、第二真空管路与进料系统的真空管路接口相连通,尾气及真空系统的真空系统通过第三真空管路与收料系统的真空管路接口相连通;尾气及真空系统的尾气系统通过第一尾气管路、第二尾气管路与进料系统的尾气管路接口相连通,尾气及真空系统的尾气系统通过第三尾气管路和或第四尾气管路与收料系统的尾气管路接口相连通,尾气及真空系统的尾气系统通过第五尾气管路与真空系统的尾气管路接口相连通; 进料系统设置安装于履带轮上的局域传送履带,进料系统的进料仓上部设有进料缓冲仓,反应系统的内衬腔中间过料狭缝与进料系统的局域传送履带同轴对齐,收料系统的收料仓下部设有收料缓冲仓; 进料系统的进料仓安装于支架上,其上端开口处设置水平的进料仓一级仓门,进料仓一级仓门的下方于进料仓内腔中设置水平的进料仓二级仓门,进料仓一级仓门与进料仓二级仓门之间形成的腔室为进料缓冲仓,进料仓的一侧安装观察窗,进料仓的另一侧在进料仓与反应系统的反应炉管进料端连接处设置密封圈冷却夹套;进料仓二级仓门下方于进料仓内腔中设置安装于履带轮上的履带,履带轮的动力由驱动电机产生,通过径向磁力耦合联轴器将动力由外部传送至内部进行密闭传动,采用齿轮、螺杆或直联的方式为履带轮提供动力,履带采用摩擦传动或啮合传动,驱动电机是直流电机、步进电机、伺服电机或者电机与主轴箱变速器的组合; 反应系统包括加热炉、反应炉管以及内衬腔,内衬腔为三个区域组合结构,包含反应腔输气区、反应腔均气反应区以及反应腔轨道区,反应炉管沿水平方向穿设于加热炉,反应炉管内腔依次设置圆柱形的反应腔输气区、反应腔均气反应区以及反应腔轨道区,反应腔输气区的外端与收料系统相对应,反应腔轨道区的外端与进料系统相对应,反应腔输气区、反应腔均气反应区以及反应腔轨道区的中间分别沿水平方向开设有板条形过料狭缝作为材料限位轨道,三个材料限位轨道的截面尺寸相同且相互连通,反应腔输气区、反应腔均气反应区的材料限位轨道上下相对开设有水平的输气管路,反应腔均气反应区的材料限位轨道上面和下面分别开设有局域匀相气孔,局域匀相气孔的排布为非均匀设计,局域匀相气孔为从中心向两侧数量逐渐变密集,孔径逐渐扩大,反应腔输气区、反应腔均气反应区以及反应腔轨道区之间采用螺纹连接或者直插连接。
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