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龙图腾网获悉浙江大学;杭州利珀科技有限公司申请的专利一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116879166B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310761160.7，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法是由刘东;吕雄涛;郭世维;王狮凌;张峰玮;王旭龙琦;金秉文设计研发完成，并于2023-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法，采用自动定心和定域装置，自动定心和定域装置包括样品台、机械臂、安装在机械臂上的带有光谱共焦传感器和相机的探头、与光谱共焦传感器电连接的数据采集单元、与数据采集单元电连接的数据分析处理单元，以及用于接收数据分析处理单元的反馈并控制机械臂运动的控制单元；调平之后，通过采集三个边缘点的坐标自动进行定心和定域，然后根据光学元件的参数进行扫描。本发明简单易行，无需对传感器进行定标，不需要针对特定样品定制高精度导轨和样品自旋台，降低机械设计与装配难度，实现光学元件的非接触式、快速、自动定心和定域扫描，适合流水化生产和检测大口径平面光学元件。

本发明授权一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法在权利要求书中公布了：1.一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法，其特征在于，采用自动定心和定域装置，所述的自动定心和定域装置包括样品台、机械臂、安装在机械臂上的带有光谱共焦传感器和相机的探头、与光谱共焦传感器电连接的数据采集单元、与数据采集单元电连接的数据分析处理单元，以及用于接收数据分析处理单元的反馈并控制机械臂运动的控制单元； 所述的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法包括如下步骤： 1采用水平放置姿态，将待定心和定域的平面光学元件固定在样品台上； 2在机械臂的原始工具坐标系下，控制机械臂靠近样品台，使光谱共焦传感器的采样点位于平面光学元件的表面，控制机械臂沿Z轴方向移动，使光谱共焦传感器位于工作距离之内； 3在平面光学元件的表面随机定位三个不共线的点，并使得光谱共焦传感器的示数在量程中心点，依照三点法重建机械臂工具坐标系，记为坐标系T1，此时，平面光学元件的表面与T1坐标系的xoy平面平行； 4T1坐标系下，控制机械臂沿Z轴方向移动，使光谱共焦传感器位于工作距离之内，并使得光谱共焦传感器的示数在量程中心点； 5控制机械臂沿X轴负方向移动，直到光谱共焦传感器的示数发生突变，此时，T1坐标系的坐标记为P1x1，y1，0；控制机械臂沿X轴正方向移动，直到光谱共焦传感器的示数发生突变，此时，T1坐标系的坐标记为P2x2，y2，0；控制机械臂沿Y轴正方向移动，直到光谱共焦传感器的示数发生突变，此时，T1坐标系的坐标记为P3x3，y3，0； 6在T1坐标系的xoy平面，由P1和P2的中点横坐标得到圆心的x0坐标，由P2和P3的中点纵坐标得到圆心的y0坐标，因此，圆心的坐标为 7假设光谱共焦传感器和相机之间的标定距离为L，L在X轴的投影长度为α，在Y轴的投影长度为β，由 三点，依照三点法重建机械臂工具坐标系，记为坐标系T2；T2坐标系的原点对应于平面光学元件的圆心； 8在T2坐标系下，按照平面光学元件的尺寸进行定域，并按照算法规划的路径对平面光学元件进行扫描。

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