西北工业大学深圳研究院;西北工业大学罗俊获国家专利权
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龙图腾网获悉西北工业大学深圳研究院;西北工业大学申请的专利一种皮秒激光诱导一步成形石墨烯-金属异质微结构方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116514053B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310375117.7,技术领域涉及:B81C1/00;该发明授权一种皮秒激光诱导一步成形石墨烯-金属异质微结构方法及装置是由罗俊;李轲;齐乐华;牛佳宁;连洪程设计研发完成,并于2023-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种皮秒激光诱导一步成形石墨烯-金属异质微结构方法及装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种皮秒激光诱导一步成形石墨烯‑金属异质微结构方法及装置,利用均匀微滴按需喷射技术打印聚酰胺酸PAA油墨,通过加热基板加热使油墨中的水份蒸发和PAA热酰亚胺化,从而得到厚度为纳米级别的聚酰亚胺PI薄膜;其次,使用皮秒激光扫描PI薄膜,快速的能量沉积引发碳化、石墨化,通过程序控制成形出所需石墨烯微结构;最后,利用皮秒激光扫描承载金属薄膜的载玻片,金属薄膜受热熔融,受气压推动后滴落至受体基板,程序控制成形出所需金属微结构,本发明可一步成形,工艺周期大大缩短,避免原有技术化学气相沉积、湿转移、金属溅射沉积、刻蚀所需要的高温真空环境条件,以及丙酮、二氯甲烷等有毒有机溶剂的使用。
本发明授权一种皮秒激光诱导一步成形石墨烯-金属异质微结构方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种皮秒激光诱导一步成形石墨烯-金属异质微结构的装置,其特征在于包括皮秒激光器(1)、光路调制系统(3)、压电微喷头(5)、导液管(6)、储液器(7)、温度控制器(8)、二号三维运动平台(9)、加热基板(10)、一号三维运动平台(13)、运动平台控制器(14)、上位机(16)和脉冲发生器(17);一号三维运动平台(13)和二号三维运动平台(9)位于同一个工作平台上,工作平台的一侧的上方设有压电微喷头(5),压电微喷头(5)通过导液管(6)连接储液器(7);皮秒激光器(1)的激光经过光路调制系统(3),发出工作激光投射于工作平台的另一侧的上方,激光下方的平台上设有一号三维运动平台(13),以及二号三维运动平台(9)移动后的工位;上位机(16)控制脉冲发生器(17),脉冲信号通过各自通道连接压电微喷头(5)和皮秒激光器(1);上位机(16)通过运动平台控制器(14)分别控制两个三维运动平台;所述二号三维运动平台(9)上设有加热基板(10),工作时受体基板(11)位于加热基板(10)上;所述二号三维运动平台(9)在实施激光诱导向前转移方法时,移动至激光下方,并按照运动平台控制器(14)的控制,按照所设计的结构进行运动;所述一号三维运动平台(13)上设有金属薄膜,按照运动平台控制器(14)的控制金属薄膜的熔点位置; 将均匀微滴喷射技术、激光诱导石墨烯LIG和激光诱导向前转移方法LIFT相结合,步骤如下: 步骤1:利用均匀微滴喷射技术打印聚酰胺酸PAA油墨在受体基板上,加热受体基板使油墨中的水分蒸发和PAA热酰亚胺化,从而在得到受体基板上得到厚度为纳米级别的聚酰亚胺PI薄膜; 步骤2:采用激光诱导石墨烯LIG的方法,使皮秒激光按照所设计的石墨烯微结构扫描PI薄膜,快速的能量沉积引发碳化、石墨化,在聚酰亚胺PI薄膜上得到所设计的石墨烯微结构; 步骤3:承载金属薄膜的载玻片置于具有PI薄膜受体基板上方30~40μm,采用激光诱导向前转移方法LIFT,使皮秒激光照射承载金属薄膜的载玻片,金属薄膜受热熔融,受气压推动后滴落至受体基板的聚酰亚胺PI薄膜,通过受体基板的运动成形出所设计的金属微结构,实现石墨烯-金属异质微结构的制备。
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