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龙图腾网获悉苏州感测通信息科技有限公司申请的专利一种电容式三轴MEMS陀螺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115752411B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211547657.0，技术领域涉及：G01C19/5656；该发明授权一种电容式三轴MEMS陀螺是由黄宇浩设计研发完成，并于2022-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电容式三轴MEMS陀螺在说明书摘要公布了：本发明揭示了一种电容式三轴MEMS陀螺结构，包括中部模块化并排级联成一体的XY轴检测单元、Z轴检测单元；四组驱动梳齿，其中每两组分设于其一单元顺应Y轴的两外侧；两组驱动梳齿，每组分设于两单元拼合处顺应Y轴的两外侧；联动部，分别与以上各单元、各梳齿活动部分相接传动。本发明的电容式三轴MEMS陀螺，通过模块化思路简化器件设计，通过共用驱动信号并增大驱动和检测的模态频率，降低了各个模态频率直接干扰的可能性，提高抗震性；大幅提高了Z轴方向的检测灵敏度以及陀螺模组的抗干扰能力和整体输出精度。

本发明授权一种电容式三轴MEMS陀螺在权利要求书中公布了：1.一种电容式三轴MEMS陀螺结构，其特征在于：包括驱动梳齿、驱动检测梳齿和模块化级联的XY轴检测单元、Z轴检测单元，其中 所述XY轴检测单元环绕衬底的第一中心点分布设有四个下电极板及其上方悬置的检测质量块，并设第一中心点为XY轴相交的原点，四个下电极板分为沿X轴在第一中心点两侧对称分布的一组和沿Y轴在第一中心点两侧对称分布的另一组，检测质量块由四块对应下电极板形状和分布的翼板一体相连成环状，并通过第一中心点周边的第一锚点和在检测质量块两侧外围平行于Y轴的第一组锚框固定于衬底上，检测质量块分别与两组下电极板相配合构成第一检测电容； 所述Z轴检测单元沿平行于Y轴在衬底的第二中心点两侧分布设有悬置状第一摆动框、第二摆动框及各自框内衬底上的固定电极齿，第二中心点与X轴延伸方向重合，两个摆动框通过其间所设的杠杆支撑组件一体相连，并通过在两个摆动框两侧外围平行于Y轴的第二组锚框固定于衬底上，两个摆动框所接可动电极与固定电极齿相配合构成第二检测电容； 四组驱动梳齿，两组驱动梳齿设于XY轴检测单元外侧且沿Y轴在第一中心点的两侧对称分布，另两组驱动梳齿设于Z轴检测单元外侧且沿平行于Y轴在第二中心点的两侧对称分布，每组驱动梳齿包括相互配合的可动驱动电极和固定驱动电极； 两组驱动检测梳齿，设于XY轴检测单元和Z轴检测单元相拼合处的外侧且沿平行于Y轴在第二中心点的两侧对称分布，每组驱动检测梳齿包括相互配合的可动检测电极和固定检测电极； 以及联动部，分别与可动驱动电极、可动检测电极、检测质量块的外沿和两个摆动框的外沿连接；其中所述驱动梳齿用于提供顺应Y轴方向的驱动力，并且通过所述联动部带动可动检测电极沿Y轴方向做往复运动，带动检测质量块相对第一中心点做聚拢离散的往复运动以及带动两个摆动框相对第二中心点沿平行于Y轴方向做往复运动。

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