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龙图腾网获悉无锡江松科技股份有限公司申请的专利直流式硅片输送系统及工艺流程获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115458455B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211220196.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权直流式硅片输送系统及工艺流程是由安迪设计研发完成，并于2022-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本直流式硅片输送系统及工艺流程在说明书摘要公布了：本发明涉及硅片输送技术领域，具体涉及直流式硅片输送系统及工艺流程。处理主机两侧分别包括若干进口和若干出口，取片输料机构和取片出料机构分别设置于进口和所述出口的一侧；取片输料机构和取片出料机构均包括依次设置的花篮取片升降机构、花篮缓存机构、硅片输送跑道；直线跑道、横移跑道和辅助跑道依次设置于取片输料机构的另一侧；取片输料机构另一侧设置有机械手。直线跑道直接输送的方式能够有效减少输送的时间。同时部件的数量只需要处理主机的进口、出口的一半设置即可，能够有效节约成本，同时还能够减小设备的占地面积。并且，机械手只需要将硅片抓取至后续的处理工位中即可，无需对花篮进行处理，能够有效提高整体处理的效率。

本发明授权直流式硅片输送系统及工艺流程在权利要求书中公布了：1.直流式硅片输送系统，其特征在于，包括直线跑道（1）、横移跑道（2）、辅助跑道（3）、取片输料机构（4）、取片出料机构（5）、处理主机（6）； 所述处理主机（6）两侧分别包括若干进口（7）和若干出口（8），所述取片输料机构（4）和所述取片出料机构（5）分别设置于所述进口（7）和所述出口（8）的一侧； 所述取片输料机构（4）和所述取片出料机构（5）均包括依次设置的花篮取片升降机构（10）、花篮缓存机构（11）、硅片输送跑道（12）； 所述直线跑道（1）、所述横移跑道（2）和所述辅助跑道（3）依次设置于所述取片输料机构（4）的另一侧；所述取片输料机构（4）另一侧设置有机械手（9）； 所述硅片输送跑道（12）包括主跑道（13）和副跑道（14），所述副跑道（14）设置于所述主跑道（13）的尾端，所述主跑道（13）和所述副跑道（14）的数量总和与所述进口（7）的数量和所述出口（8）的数量相同，且对应设置；所述辅助跑道（3）的数量、所述花篮取片升降机构（10）的数量、所述花篮缓存机构（11）的数量和所述主跑道（13）的数量相同，且对应进行设置。

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