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龙图腾网获悉有研稀土新材料股份有限公司;有研稀土高技术有限公司申请的专利一种稀土旋转靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115533359B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211099977.4，技术领域涉及：B23K31/02；该发明授权一种稀土旋转靶材及其制备方法是由陈德宏;王志强;钟嘉珉;李宗安;程军;庞思明;吴道高;张小伟;王爽;徐明磊;杨秉政;张小强;张艳岭设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种稀土旋转靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种稀土旋转靶材及其制备方法，所述稀土旋转靶材包括背管和至少一节焊接于背管外部的稀土靶管；所述背管和稀土靶管通过中间焊层进行焊接，所述中间焊层包括金属铟焊料和设置于金属铟焊料中的铝片，所述中间焊层中的铝含量为3‑10wt.％，所述背管、铝片和稀土靶管为同心的圆柱状结构。本发明的技术方案，从靶材焊接、焊料合金化等方面着手，通过在焊层中间增加铝片，结合热处理过程，提高了焊料熔点，达到提高稀土旋转靶材溅射功率密度和靶材利用率的目的，实现了低温焊接并减缓稀土靶材氧化。

本发明授权一种稀土旋转靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种稀土旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述稀土旋转靶材包括背管和至少一节焊接于背管外部的稀土靶管； 所述背管和稀土靶管通过中间焊层进行焊接，所述中间焊层包括金属铟焊料和至少一片设置于金属铟焊料中的铝片，所述中间焊层中的铝含量为3-10wt.％，所述背管、铝片和稀土靶管为同心的圆柱状结构；所述制备方法包括步骤： 在预设焊接温度下，通过向背管和稀土靶管之间填充金属铟焊料，并在所述金属铟焊料中放置铝片；或者预先在金属铟焊料中放置铝片后，向背管和稀土靶管之间填充放置有铝片的金属铟焊料，对背管和稀土靶管进行焊接得到焊接后的稀土旋转靶材； 对所述焊接后的稀土旋转靶材进行热处理，所述热处理温度为140℃～640℃，热处理时间为0.5～50h；所述热处理为分段保温处理，包括： 140℃热处理0.5-1h； 157℃热处理1-3h； 200℃热处理1-3h； 250℃热处理1-3h； 300℃热处理1-3h； 350℃热处理1-5h； 400℃热处理1-5h； 450℃热处理1-5h； 500℃热处理1-5h； 550℃热处理1-5h； 600℃热处理1-5h； 630℃热处理1-6h； 将热处理后的稀土旋转靶材冷却至室温并进行清理。

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