中国科学院电工研究所茹亚东获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院电工研究所申请的专利一种电子束加热制备球状金属单晶的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115044963B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210632680.3,技术领域涉及:C30B13/00;该发明授权一种电子束加热制备球状金属单晶的装置及方法是由茹亚东;高召顺;左婷婷;薛江丽;肖立业;韩立设计研发完成,并于2022-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束加热制备球状金属单晶的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种电子束加热制备球状金属单晶的装置及方法,其中,一种电子束加热制备球状金属单晶的装置,包括真空腔;加热件,呈圆环形结构,设置在真空腔内用于发射电子束;驱动结构,设置在真空腔中用于驱动金属丝沿着加热件中圆环形结构的中轴线移动;高压源,用于为加热件施加负高压促使电子束向金属丝加速运动。本发明设置呈圆环形结构的加热件,并结合驱动结构向上移动单晶球的方法控制单晶凝固和冷却速度,该方式下只需先调节参数使固液界面维持在在液滴顶部,后续只需要通过观察液固界面使固液界面匀速移动即可实现更精确的控制单晶的凝固速度的目的,避免出现空位、位错、多晶晶界等缺陷,进而获得质量更加优异的单晶体。
本发明授权一种电子束加热制备球状金属单晶的装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种电子束加热制备球状金属单晶的方法,其特征在于,利用一种电子束加热制备球状金属单晶的装置制备得到; 其中,一种电子束加热制备球状金属单晶的装置,包括: 真空腔(1); 加热件(2),呈圆环形结构,设置在真空腔(1)内用于发射电子束; 驱动结构(3),设置在真空腔(1)中用于驱动金属丝沿着加热件(2)中圆环形结构的中轴线移动; 高压源(6),用于为加热件(2)施加负高压促使电子束向金属丝加速运动; 所述球状金属单晶的制备过程包括: 金属丝的获取; 金属丝的固定:将金属丝顶端通过驱动结构(3)固定在加热件(2)的上方并接地,控制金属丝的中心轴线与加热件(2)中圆环形结构的中心轴线重合; 抽真空; 熔化和凝固:启动加热件(2)和高压源(6)使金属丝底端熔化形成液态大金属球,并维持液固界面2-5min;然后再以0.5-5mmmin的速度垂直向上移动,使液态大金属球至上向下冷却凝固形成球状金属单晶。
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