拓荆科技股份有限公司郭月获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利支撑柱、支撑盘及更换支撑柱的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300410B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111659994.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权支撑柱、支撑盘及更换支撑柱的方法是由郭月;姜崴设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本支撑柱、支撑盘及更换支撑柱的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于支撑晶圆的支撑柱，包含：一柱体及一抵抗部。抵抗部延伸于所述柱体的周围表面的外侧，藉此当所述支撑柱被放入晶圆支撑盘的孔时，所述抵抗部与孔壁产生摩擦力，将所述支撑柱稳固容置于孔中。本发明还提供了一种支撑盘和更换支撑柱的方法。
本发明授权支撑柱、支撑盘及更换支撑柱的方法在权利要求书中公布了：1.一种支撑柱，用于支撑晶圆的底部，其特征在于，包含：一柱体，具有一顶部、一底部及一周围表面，其中，所述柱体还具有一沟槽，用于部分容置一抵抗部，所述沟槽为一环形沟槽，延伸于所述柱体的周围表面；及所述抵抗部，延伸于所述柱体的周围表面的外侧，其中，所述抵抗部具有一对露出臂，自所述沟槽沿着所述支撑柱的周围表面延伸并贴合所述支撑柱的周围表面，藉此当所述支撑柱被放入一晶圆支撑盘的盲孔时，所述抵抗部与孔壁产生摩擦力，将所述支撑柱稳固容置于所述盲孔中，所述一对所述露出臂的自由端形成有钩状结构，作为一更换手段的配合结构。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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