科磊股份有限公司E·拉维特获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于在基于图像的叠加计量中确定目标特征焦点的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118225804B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410326042.8，技术领域涉及：G01N21/956；该发明授权用于在基于图像的叠加计量中确定目标特征焦点的系统及方法是由E·拉维特;A·玛纳森;Y·西蒙;D·桑科;A·萨夫兰尼设计研发完成，并于2021-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于在基于图像的叠加计量中确定目标特征焦点的系统及方法在说明书摘要公布了：本公开涉及用于在基于图像的叠加计量中确定目标特征焦点的系统及方法。一种计量系统包含通信地耦合到控制器的一或多个离焦成像计量子系统，所述控制器具有经配置以接收在一或多个焦点位置处捕获的多个训练图像的一或多个处理器。所述一或多个处理器可基于所述多个训练图像产生机器学习分类器。所述一或多个处理器可接收针对一或多个目标叠加测量的对应于一或多个目标特征的一或多个目标特征选择。所述一或多个处理器可使用所述机器学习分类器来基于所述一或多个目标特征选择确定一或多个目标焦点位置。
本发明授权用于在基于图像的叠加计量中确定目标特征焦点的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种计量系统，其包括： 控制器，其通信地耦合到一或多个离焦成像计量子系统，其中所述控制器包含经配置以执行存储于存储器中的程序指令集的一或多个处理器，且其中所述程序指令集经配置以致使所述一或多个处理器： 接收在一或多个焦点位置处捕获的多个训练图像，其中所述一或多个焦点位置包括在焦点训练范围内的多个焦点位置，所述多个训练图像中的一或多者包含在对应于所述多个焦点位置的多个深度处捕获的训练样品的一或多个训练特征； 基于在所述一或多个焦点位置处捕获的所述多个训练图像产生机器学习分类器； 接收针对一或多个目标叠加测量的对应于目标样品的一或多个目标特征的一或多个目标特征选择； 使用所述机器学习分类器来基于所述一或多个目标特征选择确定一或多个目标焦点位置； 接收在所述一或多个目标焦点位置处捕获的一或多个目标图像，所述一或多个目标图像包含所述目标样品的所述一或多个目标特征；及 基于所述一或多个目标图像确定一或多个叠加测量。
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