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龙图腾网获悉苏州珂玛材料科技股份有限公司申请的专利陶瓷加热盘、制备方法和模具及化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114150295B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111050640.X，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权陶瓷加热盘、制备方法和模具及化学气相沉积设备是由施建中;何琪娜;刘先兵设计研发完成，并于2021-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本陶瓷加热盘、制备方法和模具及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种陶瓷加热盘、制备方法和模具及化学气相沉积设备。常温下将陶瓷原料粉进行预压，并将射频电极及加热部件和陶瓷原料粉预成型，然后与烧制好的陶瓷管进行热压一次成型陶瓷加热盘，一次的高温烧制避免重复多次的高温过程容易引起加热盘体内部电阻的变化，以及由于二次烧结导致陶瓷晶粒二次长大使得陶瓷性能发生改变，陶瓷基体机械性能和物理性能变差，进而提高了陶瓷加热盘的热均匀性和使用寿命。

本发明授权陶瓷加热盘、制备方法和模具及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种陶瓷加热盘，其特征在于，包括：加热盘体，预压的多层加热盘体层经热压后形成所述加热盘体； 射频电极，设置于第二盘体层内； 加热部件，设置于第三盘体层内； 陶瓷管，连接所述加热盘体； 引出电极，数量为多个，穿过所述陶瓷管分别连接所述射频电极和加热部件； 所述陶瓷加热盘由陶瓷原料粉、所述射频电极及所述加热部件分多次预压成型后和烧制好的陶瓷管一次热压成型; 所述加热盘体上设置多个连接孔分别漏出所述射频电极以及所述加热部件的两极，多个所述引出电极的一端分别伸入所述连接孔与所述射频电极以及所述加热部件的两极连接;所述射频电极连接有电极接头；所述加热部件的两极连接有正接头和负接头；所述连接孔漏出所述电极接头、所述正接头和所述负接头，分别与所述引出电极连接 所述连接孔包括光孔和螺纹孔，所述引出电极包括光孔段和螺纹段；所述螺纹段与所述螺纹孔连接，所述光孔段的外侧与所述光孔的内壁之间形成第一间隙，所述第一间隙的宽度为0.1mm-3mm；所述光孔段的端部与所述电极接头、所述正接头和所述负接头分别通过第一焊接层连接; 所述引出电极包括电极管段和电极杆段，所述光孔段和螺纹段设置于所述电极管段；所述电极管段形成有内孔，所述内孔的开口端为远离所述光孔段的端部，所述内孔至少延伸到所述螺纹段，所述电极杆段伸入所述内孔与所述内孔底端焊接形成第二焊接层，所述电极杆段的外侧与所述内孔的内壁之间形成第二间隙，所述第二间隙的宽度为0.1mm-3mm； 所述加热部件包括上加热部件和下加热部件。

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