富士胶片株式会社海鉾洋行获国家专利权
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龙图腾网获悉富士胶片株式会社申请的专利感光性转印材料、树脂图案的制造方法、蚀刻方法及电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116018262B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180053678.4,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权感光性转印材料、树脂图案的制造方法、蚀刻方法及电子器件的制造方法是由海鉾洋行;有富隆志;两角一真设计研发完成,并于2021-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性转印材料、树脂图案的制造方法、蚀刻方法及电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种感光性转印材料、以及使用上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、蚀刻方法及电子器件的制造方法,所述感光性转印材料依次具有临时支承体、感光性树脂层及保护膜,在将上述临时支承体中的与上述感光性树脂层侧相反的一侧的面的表面能设为γbmNm,将上述保护膜中的与上述感光性树脂层侧相反的一侧的面的表面能设为γcmNm时,满足γb≥γc。
本发明授权感光性转印材料、树脂图案的制造方法、蚀刻方法及电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种感光性转印材料,其依次具有临时支承体、感光性树脂层及保护膜, 在将所述临时支承体中的与所述感光性树脂层侧相反的一侧的面的表面能设为γb、将所述保护膜中的与所述感光性树脂层侧相反的一侧的面的表面能设为γc时,满足γb≥γc,γb和γc的单位为mNm, γb的值为45mNm~70mNm,γc的值为36mNm~65mNm,γb-γc的值超过0mNm且为50mNm以下, 所述感光性转印材料为辊状的感光性转印材料。
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