东京毅力科创株式会社中山博之获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利检查装置和检查装置的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113948417B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110774058.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权检查装置和检查装置的控制方法是由中山博之设计研发完成，并于2021-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置和检查装置的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种提高被检查体的温度均匀性的检查装置和检查装置的控制方法。本发明的检查装置包括：用于载置具有被检查体的基板的载置台；具有对所述被检查体供给电流的探针的探针卡；照射光来加热所述基板的光照射机构；和所述控制部执行如下步骤：利用来自所述光照射机构的光均匀地加热所述被检查体的步骤；和利用来自所述光照射机构的光加热所述被检查体的外周部的步骤。
本发明授权检查装置和检查装置的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种检查装置，其特征在于，包括： 用于载置具有被检查体的基板的载置台； 具有对所述被检查体供给电流的探针的探针卡； 通过照射光来加热所述基板的光照射机构；和 控制所述光照射机构的控制部， 所述控制部执行如下步骤： 利用来自所述光照射机构的光均匀地加热所述被检查体的第1照射工序；和 向第2照射工序切换的切换工序，所述第2照射工序利用来自所述光照射机构的光使包含所述被检查体的外周部的加热量大于包含所述被检查体的中心部分的加热量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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