株式会社堀场STEC爱德华·科西亚迪弗罗获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社堀场STEC申请的专利具有电气背板的气体输送系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113217818B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110083651.1,技术领域涉及:F17D1/04;该发明授权具有电气背板的气体输送系统是由爱德华·科西亚迪弗罗;约翰·迪克;威廉姆·W·怀特;马克西米利安·冈德拉赫;帕特里克·劳瑞设计研发完成,并于2021-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有电气背板的气体输送系统在说明书摘要公布了:本公开提供了一种气体输送系统,所述气体输送系统包括:电气背板;可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器;和多个质量流量控制器。各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路。所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板。所述气体输送系统还包括泵清除系统,以帮助消除系统内的压力上升并且使系统中的流动过程快速停止。因此,能够评估与流动过程相关联的列,从而在必要时能够换出质量流量控制器。
本发明授权具有电气背板的气体输送系统在权利要求书中公布了:1.一种气体输送系统,包括: 电气背板; 可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器;和 多个质量流量控制器,各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路,所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板, 其中,各个所述的质量流量控制器经由各自的电气连接器物理地安装在所述电气背板上; 所述电气背板包括背板印刷电路板;并且 各个所述的质量流量控制电路包括各自的局部印刷电路板,所述局部印刷电路板经由所述局部印刷电路板和所述背板印刷电路板之间的板对板电气连接而物理地安装在所述电气背板上。
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