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龙图腾网获悉东芝三菱电机产业系统株式会社申请的专利活性气体生成装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114982382B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080091607.9，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权活性气体生成装置是由有田廉;渡边谦资设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本活性气体生成装置在说明书摘要公布了：本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，不使活性气体的生成量降低地能够实现供电空间中的绝缘耐性的提高。本发明的活性气体生成装置100中的箱体7具有沿着中央底面区域78的外周设置且形成高度高于中央底面区域78的周边阶差区域79。通过设置在周边阶差区域79上的高压电极用介电膜1而设置对供电空间8与包含放电空间3的活性气体生成空间之间的气体流动进行分离的气体分离构造。设置在箱体7外部的真空泵15将供电空间8设定为真空状态。

本发明授权活性气体生成装置在权利要求书中公布了：1.一种活性气体生成装置，通过向产生有介电势垒放电的放电空间供给原料气体而使上述原料气体活化而生成活性气体，具备： 第1电极用介电膜； 第2电极用介电膜，设置在上述第1电极用介电膜的下方； 第1供电体，形成在上述第1电极用介电膜的上表面上，具有导电性；以及 第2供电体，形成在上述第2电极用介电膜的下表面上， 上述第1供电体被施加交流电压，上述第2供电体被设定为接地电位，在上述第1及第2电极用介电膜相对置的电介质空间内包含有上述放电空间， 上述第2电极用介电膜具有用于将上述活性气体向下方喷出的气体喷出孔， 上述活性气体生成装置还具备箱体，该箱体具有导电性，收容上述第1及第2电极用介电膜和上述第1及第2供电体，在上述箱体的内部，在上述第1供电体的上方设置有供电空间， 上述箱体具有： 原料气体导入口，从外部接受上述原料气体； 气体中继区域，用于将上述原料气体向上述放电空间供给；以及 箱体用气体喷出孔，用于将从上述气体喷出孔喷出的上述活性气体向下方喷出， 从上述原料气体导入口经由上述气体中继区域以及上述放电空间而到达上述箱体用气体喷出孔的空间，被规定为活性气体生成空间， 通过上述箱体和上述第1电极用介电膜，设置将上述活性气体生成空间与上述供电空间之间的气体流动进行分离的气体分离构造， 上述活性气体生成装置还具备真空泵，该真空泵设置在上述箱体的外部，将上述供电空间设定为真空状态。

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