华为技术有限公司秦德君获国家专利权
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龙图腾网获悉华为技术有限公司申请的专利感光性树脂、感光性树脂组合物、固化物、图案形成方法以及集成电路器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114721223B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011533638.3,技术领域涉及:G03F7/039;该发明授权感光性树脂、感光性树脂组合物、固化物、图案形成方法以及集成电路器件是由秦德君设计研发完成,并于2020-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性树脂、感光性树脂组合物、固化物、图案形成方法以及集成电路器件在说明书摘要公布了:本申请涉及一种感光性树脂、感光性树脂组合物、固化物、图案形成方法以及集成电路器件。本申请的感光性树脂至少在主链中包括以下通式1所示的源自四羧酸二酐的结构单元和以下通式2所示的源自二胺的结构单元:通式1中,X表示四价有机基团;通式2中,Y1表示具有1个以上的源自偶氮苯化合物的二价有机基团。本申请的感光性树脂组合物包含该感光性树脂。本申请的固化物由本申请的感光性树脂组合物形成。本申请的图案形成方法使用本申请的感光性树脂组合物。本申请的集成电路器件配置有本申请的固化物的层。
本发明授权感光性树脂、感光性树脂组合物、固化物、图案形成方法以及集成电路器件在权利要求书中公布了:1.一种感光性树脂,其特征在于,至少在主链中包括以下通式1所示的源自四羧酸二酐的结构单元、以下通式2所示的源自二胺的结构单元和以下通式4所示的源自二胺的结构单元: 通式1中,X表示四价有机基团;通式2中,Y1表示具有1个以上的源自偶氮苯化合物的二价有机基团, 通式4中,Y2表示具有源自醌二叠氮化合物的基团和1~4个芳香族环的二价有机基团。
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