ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司V·A·佩雷斯-福尔肯获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司申请的专利光刻设备和静电夹具设计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114586139B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080072366.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权光刻设备和静电夹具设计是由V·A·佩雷斯-福尔肯;M·A·范德柯克霍夫;D·L·哈勒;C·J·马森;亚瑟·温弗里德·爱德华达斯·明内尔特;J·H·J·莫尔斯;S·A·内菲设计研发完成，并于2020-10-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻设备和静电夹具设计在说明书摘要公布了：本文的实施例描述了用于使用增强式静电夹具减小夹具‑掩模版界面处的电场的方法、装置和系统。具体地，所述静电夹具包括夹具本体、设置在所述夹具本体的顶表面上的电极层以及从所述夹具本体的底表面突出的多个突节，其中所述电极层包括预定位置处的多个切口，所述预定位置竖直地对应于所述夹具本体的所述顶表面处的所述多个突节的位置。
本发明授权光刻设备和静电夹具设计在权利要求书中公布了：1.一种静电夹具，包括： 夹具本体； 电极层，被设置在所述夹具本体的顶表面上；以及 多个突节，从所述夹具本体的底表面突出， 其中所述电极层包括预定位置处的多个切口，所述预定位置竖直地对应于所述夹具本体的所述底表面处的所述多个突节的位置，所述多个切口包括至少第一切口和第二切口，所述第一切口具有第一直径，所述第二切口具有第二直径，第二直径与第一直径不同，以及 其中所述第一直径和第二直径被配置成在预定位置处以减小多个突节周围产生的电场。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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