科磊股份有限公司A·萨夫兰尼获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利生产及过程控制工具的衬底搬运的自动教导获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114342056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080061550.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权生产及过程控制工具的衬底搬运的自动教导是由A·萨夫兰尼;S·马克;A·艾曾;M·阿尔比特设计研发完成，并于2020-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本生产及过程控制工具的衬底搬运的自动教导在说明书摘要公布了：将教导衬底装载到制作或检验工具的装备前端模块EFEM的装载口中。所述EFEM包含衬底搬运机器人。所述教导衬底包含多个传感器及一或多个无线收发器。所述工具包含多个工作站。在所述教导衬底位于所述EFEM中的情况下，所述衬底搬运机器人沿着初始路线移动且从所述教导衬底无线地接收传感器数据。至少部分地基于所述传感器数据，确定不同于所述初始路线的经修改路线。所述衬底搬运机器人沿着所述经修改路线移动，从而搬运所述教导衬底。至少部分地基于所述传感器数据，确定所述多个工作站的位置。
本发明授权生产及过程控制工具的衬底搬运的自动教导在权利要求书中公布了：1.一种设备，其包括： 衬底，其将被装载到制作或检验工具的装备前端模块中，其中所述衬底由所述装备前端模块的衬底搬运机器人的末端执行器载运，且其中所述工具包括多个工作站，且所述多个工作站包括位于不同于所述装备前端模块的所述工具的腔室中的卡盘，所述腔室通过舱口与所述装备前端模块分开； 第一相机，其位于所述衬底上以使所述衬底的一侧向外的区域成像； 第二相机，其位于所述衬底上以使在所述衬底下面的区域成像；及 一或多个无线收发器，其位于所述衬底上以传输由所述第一相机及所述第二相机捕获的图像， 其中在所述衬底位于所述末端执行器上的情况下将所述衬底定位在所述舱口前面以使所述舱口在所述第一相机的视场中，且其中所述图像包括由所述第一相机拍摄的所述舱口的图像； 其中至少部分地基于由所述第一相机及所述第二相机捕获的所述图像，对在所述工具中通过所述衬底搬运机器人移动所述衬底的初始路线进行修改从而确定在所述工具中移动所述衬底的经修改路线。
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