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厦门阿匹斯智能制造系统有限公司黄兴盛获国家专利权

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龙图腾网获悉厦门阿匹斯智能制造系统有限公司申请的专利一种溅射靶座获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112226736B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010770486.2,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种溅射靶座是由黄兴盛;范刚;夏绪干;张绍璞设计研发完成,并于2020-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种溅射靶座在说明书摘要公布了:本发明公开了一种溅射靶座,包括电机,所述电机与一不锈钢管相联接,所述不锈钢管外周沿中心线设置有至少两段磁轭,所述磁轭上配合联接有磁铁,所述不锈钢管外周套设在靶材,所述磁轭和磁铁位于靶材内周,本发明有效的解决磁钢重量重不好搬运、不好安装、不好加工的问题、解决磁钢生锈的问题,解决磁铁快速更换的问题。

本发明授权一种溅射靶座在权利要求书中公布了:1.一种溅射靶座,包括电机,其特征在于,所述电机与一不锈钢管相联接,所述不锈钢管外周沿中心线设置有至少两段磁轭,所述磁轭上配合联接有磁铁,所述不锈钢管外周套设在靶材内,所述磁轭和磁铁位于靶材内周; 还包括一安装板,所述安装板上设置有相配合的主动齿轮和从动齿轮,所述主动齿轮与电机配合联接,所述从动齿轮与旋转主轴配合联接,所述旋转主轴与不锈钢管配合联接; 所述安装板下方设置有位于保护罩外周的绝缘安装座; 包括相配合的感应器和感应片; 所述安装座上设置有与电机相联接的支撑架,所述电机经联轴器与所述主动齿轮配合联接,所述支撑架上设置有所述感应器,所述联轴器上设置有所述感应片。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人厦门阿匹斯智能制造系统有限公司,其通讯地址为:361000 福建省厦门市集美区英瑶路198-204号厂房主楼一层、五层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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