巴斯夫欧洲公司M·劳特尔获国家专利权
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龙图腾网获悉巴斯夫欧洲公司申请的专利用于抑制钨蚀刻的组合物获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114080473B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080049448.6，技术领域涉及：C23F11/02；该发明授权用于抑制钨蚀刻的组合物是由M·劳特尔;H·O·格文茨;W·L·仇;魏得育设计研发完成，并于2020-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于抑制钨蚀刻的组合物在说明书摘要公布了：本发明涉及用于抑制蚀刻的组合物和方法。特别地，本发明涉及用于抑制钨蚀刻的组合物和方法。
本发明授权用于抑制钨蚀刻的组合物在权利要求书中公布了：1.一种用于抑制钨蚀刻的组合物，包含： A至少一种无机研磨颗粒； B至少一种选自苄索铵盐的腐蚀抑制剂；和 C含水介质；且 其中所述组合物的pH值为≥6.0至≤8.0， 其中所述至少一种腐蚀抑制剂B以基于组合物的总重量≥0.0001重量%至≤0.009重量%的浓度存在。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人巴斯夫欧洲公司，其通讯地址为：德国莱茵河畔路德维希港；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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